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Feltro rígido com revestimento CVD SiC

Como uma parte importante das peças de grafite meia-lua do revestimento de SiC, o feltro rígido do revestimento CVD SiC desempenha um papel importante na preservação do calor durante o processo de crescimento epitaxial do SiC. VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor maduro de feltro rígido com revestimento CVD SiC, que pode fornecer aos clientes produtos de feltro rígido com revestimento CVD SiC adequados e excelentes. A VeTek Semiconductor espera se tornar seu parceiro de longo prazo na indústria epitaxial.

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Descrição do produto

O feltro rígido com revestimento CVD SiC é um componente obtido pelo revestimento CVD SiC na superfície do feltro rígido de grafite, que atua como camada de isolamento térmico.Revestimento CVD SiCpossui excelentes propriedades, como resistência a altas temperaturas, excelentes propriedades mecânicas, estabilidade química, boa condutividade térmica, isolamento elétrico e excelente resistência à oxidação. Portanto, o feltro rígido com revestimento CVD SiC tem boa resistência e resistência a altas temperaturas e é geralmente usado para isolamento térmico e suporte de câmaras de reação epitaxiais.

Propriedades de feltro rígido de grafite de alta pureza:

● Resistência a altas temperaturas: O feltro rígido com revestimento CVD SiC pode suportar temperaturas de até 1000 ℃ ou mais, dependendo do tipo de material.

● Estabilidade química: O feltro rígido com revestimento CVD SiC pode permanecer estável no ambiente químico do crescimento epitaxial e suportar a erosão de gases corrosivos.

● Desempenho de isolamento térmico: O feltro rígido com revestimento CVD SiC tem um bom efeito de isolamento térmico e pode efetivamente impedir a dissipação do calor da câmara de reação.

● Resistência mecânica: O feltro duro com revestimento de SiC possui boa resistência mecânica e rigidez, de modo que ainda pode manter sua forma e suportar outros componentes em altas temperaturas.

Feltro Rígido de GrafiteFunção:

● Isolamento térmico: O feltro rígido com revestimento CVD SiC fornece isolamento térmico paraSiC epitaxialcâmaras de reação, mantém o ambiente de alta temperatura na câmara e garante a estabilidade do crescimento epitaxial.

● Apoio estrutural: O feltro rígido com revestimento CVD SiC fornece suporte parapartes de meia-luae outros componentes para evitar possíveis deformações ou danos sob alta temperatura e alta pressão.

● Controle de fluxo de gás: Ajuda a controlar o fluxo e distribuição do gás na câmara de reação, garantindo a uniformidade do gás nas diferentes áreas, melhorando assim a qualidade da camada epitaxial.

A VeTek Semiconductor pode fornecer feltro rígido com revestimento CVD SiC personalizado de acordo com suas necessidades. A VeTek Semiconductor está aguardando sua consulta.

o Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Grão vocêe	2~10μm
Pureza Química	Pureza Química99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m^-1·K^-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1