China Processo de Epitaxia SiC Fabricante, fornecedor, fábrica

Os revestimentos de metal duro exclusivos da VeTek Semiconductor fornecem proteção superior para peças de grafite no processo SiC Epitaxy para o processamento de materiais semicondutores e semicondutores compostos exigentes. O resultado é uma vida útil prolongada do componente de grafite, preservação da estequiometria da reação, inibição da migração de impurezas para aplicações de epitaxia e crescimento de cristais, resultando em maior rendimento e qualidade.

Nossos revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) protegem componentes críticos de fornos e reatores em altas temperaturas (até 2.200°C) contra amônia quente, hidrogênio, vapores de silício e metais fundidos. A VeTek Semiconductor possui uma ampla gama de recursos de processamento e medição de grafite para atender às suas necessidades personalizadas, para que possamos oferecer um revestimento pago ou serviço completo, com nossa equipe de engenheiros especializados prontos para projetar a solução certa para você e sua aplicação específica. .

Cristais semicondutores compostos

A VeTek Semiconductor pode fornecer revestimentos TaC especiais para vários componentes e transportadores. Através do processo de revestimento líder da indústria da VeTek Semiconductor, o revestimento TaC pode obter alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta resistência química, melhorando assim a qualidade do produto das camadas cristal TaC/GaN) e EPl, e estendendo a vida útil dos componentes críticos do reator.

Isoladores térmicos

Componentes de crescimento de cristais SiC, GaN e AlN, incluindo cadinhos, porta-sementes, defletores e filtros. Conjuntos industriais, incluindo elementos de aquecimento resistivos, bicos, anéis de proteção e acessórios de brasagem, componentes de reatores CVD epitaxiais de GaN e SiC, incluindo transportadores de wafer, bandejas de satélite, chuveiros, tampas e pedestais, componentes MOCVD.

Propósito:

Transportador de wafer LED (diodo emissor de luz)

Receptor ALD (semicondutor)

Receptor EPI (Processo Epitaxia SiC)

Susceptor de satélite revestido com TaC Susceptor e anel de revestimento TaC Peças de revestimento TaC Peças Halfmoon com revestimento TaC

Comparação de revestimento SiC e revestimento TaC:

	SiC	TaC
Principais características	Pureza ultra alta, excelente resistência ao plasma	Excelente estabilidade em altas temperaturas (conformidade do processo em altas temperaturas)
Pureza	>99,9999%	>99,9999%
Densidade (g/cm3)	3.21	15
Dureza (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistividade [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Condutividade térmica (W/m-K)	200-360	22
Coeficiente de expansão térmica (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Aplicativo	Gabarito cerâmico de equipamento semicondutor (anel de foco, cabeça de chuveiro, wafer fictício)	Crescimento de cristal único SiC, Epi, peças de equipamentos LED UV

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Carboneto de tântalo poroso

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional e líder de produtos de carboneto de tântalo poroso na China. O carboneto de tântalo poroso é geralmente fabricado pelo método de deposição química de vapor (CVD), garantindo controle preciso do tamanho e distribuição de seus poros, e é uma ferramenta de material dedicada a ambientes extremos de alta temperatura. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Anel de carboneto de tântalo

Como um fabricante e produtor avançado de produtos de anel de carboneto de tântalo na China, o anel de carboneto de tântalo VeTek Semiconductor tem dureza extremamente alta, resistência ao desgaste, resistência a altas temperaturas e estabilidade química, e é amplamente utilizado no campo de fabricação de semicondutores. Especialmente em CVD, PVD, processo de implantação iônica, processo de gravação e processamento e transporte de wafer, é um produto indispensável para processamento e fabricação de semicondutores. Aguardamos sua consulta adicional.

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Suporte para revestimento de carboneto de tântalo

Como fabricante e fábrica profissional de produtos de suporte para revestimento de carboneto de tântalo na China, o Suporte para revestimento de carboneto de tântalo VeTek Semiconductor é geralmente usado para revestimento de superfície de componentes estruturais ou componentes de suporte em equipamentos semicondutores, especialmente para proteção de superfície de componentes-chave de equipamentos em processos de fabricação de semicondutores, como DCV e PVD. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Anel guia de carboneto de tântalo

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional e líder de produtos de anel guia de carboneto de tântalo na China. Nosso anel guia de carboneto de tântalo (TaC) é um componente de anel de alto desempenho feito de carboneto de tântalo, que é comumente usado em equipamentos de processamento de semicondutores, especialmente em ambientes de alta temperatura e altamente corrosivos, como CVD, PVD, gravação e difusão. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores e agradece suas dúvidas.

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Susceptor de rotação de revestimento TaC

Como fabricante profissional, inovador e líder de produtos Susceptores de Rotação de Revestimento TaC na China. O susceptor de rotação de revestimento VeTek Semiconductor TaC é geralmente instalado em equipamentos de deposição química de vapor (CVD) e epitaxia por feixe molecular (MBE) para suportar e girar wafers para garantir deposição uniforme de material e reação eficiente. É um componente chave no processamento de semicondutores. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Cadinho de revestimento CVD TaC

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional e líder de produtos de cadinho de revestimento CVD TaC na China. O cadinho de revestimento CVD TaC é baseado em revestimento de carbono de tântalo (TaC). O revestimento de carbono de tântalo é coberto uniformemente na superfície do cadinho através do processo de deposição química de vapor (CVD) para aumentar sua resistência ao calor e à corrosão. É uma ferramenta material especialmente utilizada em ambientes extremos de alta temperatura. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Processo de Epitaxia SiC na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Processo de Epitaxia SiC avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.