Barco de grafite PECVD

O barco de grafite PECVD da Vetek Semiconductor otimiza os processos de revestimento de células solares espaçando efetivamente os wafers de silício e induzindo descarga luminosa para deposição uniforme do revestimento. Com tecnologia avançada e opções de materiais, os barcos de grafite PECVD da Vetek semicondutores melhoram a qualidade do wafer de silício e aumentam a eficiência de conversão de energia solar.

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Descrição do produto

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional de barco de grafite PECVD na China.

Qual é o papel do barco de grafite PECVD de célula solar (revestimento) da VeTek Semiconductor?

Como transportador de wafers de silício normais produzidos pelo processo de revestimento, o barco de grafite PECVD tem muitos wafers de barco com certos intervalos na estrutura, e há um espaço muito estreito entre os dois wafers de barco adjacentes, e os wafers de silício são colocados em ambos lados da porta vazia.

Como o material de barco de grafite PECVD possui boas propriedades de condutividade elétrica e térmica, a tensão CA é solicitada nos dois barcos adjacentes, de modo que os dois barcos adjacentes formem pólos positivos e negativos, quando há uma certa pressão e gás na câmara, A descarga luminescente ocorre entre os dois barcos, a descarga luminescente pode decompor o gás SiH4 e NH3 no espaço, formando íons Si e N. Moléculas SiNx são formadas e depositadas na superfície do wafer de silício para atingir o objetivo de revestimento.

Barco de grafite PECVD como transportador de filme antirreflexo para revestimento de células solares, sua estrutura e tamanho afetam diretamente a eficiência de conversão e eficiência de produção de wafers de silício, após anos de pesquisa e desenvolvimento técnico, nossa fábrica agora possui equipamentos de produção avançados, designers de tecnologia maduros e experientes a equipe de produção e os materiais podem escolher matérias-primas importadas ou materiais nacionais de alta qualidade. Atualmente, a casa de grafite fabricada por nossa empresa possui uma estrutura simples, a uma distância razoável do barco de grafite, o que uniformiza o revestimento de silício, melhora a qualidade do wafer de silício e faz com que a eficiência de conversão de energia solar seja alta.

A Vetek Semiconductor possui todos os tipos de barcos de grafite que o mercado precisa atualmente.

Propriedades físicas básicas da grafite isostática:

Propriedades físicas da grafite isostática
Propriedade	Unidade	Valor típico
Densidade aparente	g/cm³	1.83
Dureza	HD	58
Resistividade elétrica	mΩ.m	10
Resistência à Flexão	MPa	47
Força compressiva	MPa	103
Resistência à tracção	MPa	31
Módulo de Young	GPa	11.8
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.6
Condutividade térmica	W·m-1·K-1	130
Tamanho Médio de Grão	μm	8-10
Porosidade	%	10
Conteúdo de cinzas	ppm	≤5 (depois de purificado)