Barco de quartzo semicondutor
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Barco de quartzo semicondutor

No processo de semicondutores, o transporte de wafers é particularmente importante. Os barcos semicondutores de quartzo são muito bons no transporte de wafers e são adequados para processos como difusão, oxidação e CVD. VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor líder de barcos de quartzo semicondutores na China e é capaz de fornecer aos clientes produtos altamente personalizados.

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Descrição do produto

O barco de quartzo semicondutor é um produto de quartzo de alta pureza usado no processo de fabricação de semicondutores. Sua principal função é transportar e transferir wafers em fornos de alta temperatura. É amplamente utilizado em indústrias de precisão, como semicondutores, optoeletrônica e LEDs. Adequado para difusão, oxidação, CVD e outros processos.


Semiconductor quartz boat working diagram

Características do produto:

Alta pureza: O barco de quartzo semicondutor usa material de quartzo de alta pureza com teor de impurezas extremamente baixo, evitando efetivamente a poluição por íons metálicos e é adequado para os requisitos de ambiente limpo de processos de semicondutores.


Resistência a altas temperaturas: Possui excelente resistência a altas temperaturas e pode ser usado de forma estável por um longo tempo em um ambiente de até 1200 ℃.


Resistência à corrosão: Possui boa resistência à corrosão à maioria dos reagentes químicos, como ácidos e álcalis, podendo se adaptar ao ambiente químico em equipamentos semicondutores, como fornos CVD.


Boa estabilidade térmica: Baixo coeficiente de expansão térmica, não é fácil de deformar quando aquecido, adequado para processos frequentes de aquecimento e resfriamento.


Parâmetros
Especificações
Material
Quartzo de alta pureza
Diâmetro externo
Personalizado conforme necessário
Comprimento
Personalizado conforme necessário
Estabilidade térmica
Operação estável a 1200°C

Especificações

• Melhorar a eficiência da produção: design compacto, fácil transferência de wafer e capacidade de processo aprimorada.


• Reduza o risco de contaminação: material de quartzo de alta pureza, reduzindo a contaminação por impurezas residuais no processo.


• Longa vida e durabilidade: alta temperatura e resistência à corrosão, adequado para uso em alta frequência, reduzindo custos de reposição.


A Vetek Semiconductor está comprometida em fornecer aos clientes produtos para barcos de quartzo de alta qualidade e alta pureza. Todos os produtos são rigorosamente controlados de qualidade para garantir que atendam aos altos padrões da indústria de semicondutores.


VetekSemLojas de barcos de quartzo semicondutores:

Semiconductor EquipmentGraphite epitaxial substrateGraphite ring assemblySemiconductor process equipment

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