Mandril de vácuo cerâmico de alumina

VeTek Semiconductor é um fabricante e fábrica profissional de mandril de vácuo de cerâmica de alumina na China. O mandril de vácuo cerâmico de alumina usa cerâmica de óxido de alumínio de alta pureza com excelente resistência ao calor, resistência química e resistência mecânica. É usado principalmente para fixar e apoiar wafers e substratos. É um equipamento de alto desempenho para processamento de semicondutores. Dê boas-vindas a suas perguntas adicionais.

Enviar consulta

Descrição do produto

Alumina Ceramic Vacuum Chuck é um suporte de wafer para processos epitaxiais em processamento de semicondutores. É uma ferramenta fundamental para estabilizar wafers e garantir o crescimento uniforme das camadas epitaxiais. É amplamente utilizado em equipamentos epitaxiais, comoMOCVDeLPCVD.

O mandril de vácuo cerâmico de alumina VeTek Semiconductor desempenha um papel vital nos estágios de desbaste e moagem de wafer na fabricação de semicondutores. Estas etapas envolvem precisamente a redução da espessura dosubstrato de bolachapara melhorar a dissipação de calor do chip, o que é essencial para melhorar a eficiência e a vida útil dos dispositivos semicondutores.

Compatível com vários tamanhos de wafer: O mandril de vácuo de cerâmica de alumina VeTek Semiconductor foi projetado para suportar uma ampla variedade de tamanhos de wafer, incluindo 2, 3, 4, 5, 6, 8 e 12 polegadas. Essa adaptabilidade o torna adequado para uma variedade de ambientes de produção de semicondutores, garantindo desempenho consistente e confiável em diferentes tamanhos de wafers.

Composição de materiais superiores: A base do mandril de vácuo de cerâmica de alumina é feita de 99,9999% de alumina ultrapura (Al₂O₃), que oferece excelente resistência ao ataque químico e estabilidade térmica. A superfície do mandril é feita de material porosocarboneto de silício (SiC). O material cerâmico poroso possui estrutura densa e uniforme, o que melhora sua durabilidade e desempenho.

Benefícios deTecnologia Cerâmica Porosa：

Pureza e durabilidade do material: Feito de alumina 99,99% pura, nosso mandril de vácuo cerâmico de alumina resiste ao ataque químico e oferece excelente estabilidade térmica, tornando-o ideal para ambientes de fabricação extremamente exigentes.

Porosidade ideal e permeabilidade ao ar: Microporos distribuídos uniformemente proporcionam excelente permeabilidade ao ar e força de adsorção uniforme, resultando em operação suave e consistente.

Planicidade e paralelismo aprimorados: Os mandris de vácuo cerâmicos de alumina microporosa têm excelente planicidade e paralelismo, garantindo manuseio preciso e estabilidade do wafer.

Capacidades de serviço personalizadas: VeTekSemi pode fornecer uma variedade de formatos personalizáveis, incluindo redondo, quadrado, anel e outros designs, com espessura variando de 3 MM a 10 MM. Essa personalização garante que nossos mandris a vácuo de cerâmica de alumina atendam às necessidades específicas de diferentes processos de fabricação de semicondutores e sejam definitivamente a escolha ideal.

A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores e esperamos sinceramente ser seu parceiro de longo prazo na China.

OFórmula química decerâmica de alumina：

alumina ceramics Chemical formula