Efetor final para manuseio de wafer

O Vetek Semiconductor Wafer Handling End Effector é uma parte importante no processamento de semicondutores, transportando wafers e protegendo suas superfícies contra danos. A VeTek Semiconductor, como fabricante e fornecedor líder de Wafer Handling End Effector, está sempre comprometida em fornecer aos clientes excelentes produtos de braço robótico para manuseio de wafer e os melhores serviços. esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo em produtos de ferramentas para manuseio de wafers.

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Descrição do produto

Wafer Handling End Effector é um tipo de mão robótica projetada especificamente para a indústria de semicondutores, geralmente usada para manusear e transferirbolachas. O ambiente de produção de wafers exige limpeza extremamente alta, porque pequenas partículas ou contaminantes podem causar falhas nos chips durante o processamento. Os materiais cerâmicos são amplamente utilizados na fabricação dessas mãos devido às suas excelentes propriedades físicas e químicas.

Comparado com materiais metálicos tradicionais, as vantagens decerâmicaem materiais refletem-se principalmente nos seguintes aspectos:

End Effector for Wafer Handling Operation Scenario

•Resistência à corrosão: Os wafers são expostos a uma variedade de produtos químicos durante o processo de fabricação, e os materiais cerâmicos podem resistir efetivamente à corrosão e garantir o uso do equipamento a longo prazo.

•Baixa liberação de partículas: Como as cerâmicas possuem baixíssima liberação de partículas, dificilmente produzirão partículas durante o processo de manuseio, reduzindo assim o risco de contaminação do wafer.

•Boa resistência a altas temperaturas: Em alguns processos, os wafers precisam ser manuseados em um ambiente de alta temperatura, e a resistência a altas temperaturas do robô de manuseio de wafers de materiais cerâmicos permite que eles se adaptem a esses ambientes agressivos.

•Isolamento elétrico: As cerâmicas são isolantes elétricos naturais, essenciais para processos de processamento que envolvem corrente e podem evitar que a eletricidade estática afete os wafers.

O equipamento convencional de manuseio de wafer é feito de alumínio, o VetekSemi Wafer Handling SiC Boat feito de SiC tem muitas vantagens. O SiC é conhecido por sua excelente resistência mecânica, excelente estabilidade térmica e resistência à corrosão. Essas propriedades o tornam um material ideal para braços robóticos de manuseio de wafers, onde limpeza, precisão e confiabilidade são essenciais.

Com o desenvolvimento contínuo da tecnologia de semicondutores, o tamanho dos wafers aumentou gradualmente, o que apresentou requisitos mais elevados para o projeto e fabricação do Wafer Handling End Effector. No futuro, com o aprimoramento da tecnologia de automação, a precisão, velocidade e confiabilidade do End Effector para manuseio de wafer continuarão a melhorar.

Como um dos principais equipamentos na fabricação de semicondutores, os robôs de manuseio de wafers ocupam uma posição importante nas fábricas de semicondutores devido à sua alta limpeza, resistência à corrosão e estabilidade a altas temperaturas. A VeTek Semiconductor pode fornecer aos clientes produtos personalizados de Wafer Handling End Effector e serviços de pré-venda e pós-venda, e aguardamos sua consulta.

VeTekSemEfetor final de manuseio de wafer:

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