2024-09-23
A estrutura porosa do grafite
A Grafite Porosa é um produto de estrutura porosa feito de grafite como material de base. Seu material é feito de grafite de alta pureza. Os parâmetros físicos do VeTek Semiconductor Porous Graphite variam de acordo com o processo de produção e aplicação específica. A seguir estão os parâmetros físicos comuns:
Propriedades físicas típicas degrafite poroso
isso
Parâmetro
Densidade aparente
0,89g/cm2
Resistência à compressão
8,27MPa
Força de flexão
8,27MPa
Resistência à tracção
1,72MPa
Resistência específica
130Ω-polX10-5
Porosidade
50%
Tamanho médio dos poros
70um
Condutividade Térmica
12W/M*K
A grafite porosa é feita de grafite de alta pureza e possui excelente condutividade elétrica, condutividade térmica, resistência a altas temperaturas, resistência à oxidação, estabilidade química e outras características. É amplamente utilizado na indústria de processamento de semicondutores.
No processo de processamento de semicondutores, a grafite porosa é amplamente utilizada nos seguintes aspectos:
Combinado com a excelente resistência a altas temperaturas e estabilidade química do grafite poroso, como boa resistência à corrosão à maioria dos produtos químicos, como ácidos, álcalis e solventes, o grafite poroso é frequentemente usado em equipamentos de sinterização e tratamento térmico de alta temperatura. Por exemplo, a grafite porosa pode ser usada como revestimento, material de isolamento ou material de suporte para fornos de alta temperatura.
Além disso, o componente poroso de grafite possui excelente condutividade elétrica e estabilidade térmica para fornecer um campo térmico uniforme e propriedades elétricas estáveis.
Portanto, este produto é frequentemente utilizado noprocesso de difusão ou oxidaçãodo processamento de semicondutores como fonte de difusão ou material de eletrodo.
A estrutura porosa do grafite poroso pode filtrar e purificar gases usados no processamento de semicondutores, reduzir possível contaminação por partículas e garantir alta limpeza durante o processamento.
Com sua estrutura porosa e boa permeabilidade ao ar, as peças de grafite poroso também podem ser utilizadas como base e fixação em um sistema de adsorção a vácuo para fixar wafers ou outros componentes por meio de adsorção a vácuo eficiente.
Ao ajustar o processo de sinterização de grafite, a VeTek Semiconductor podepersonalize materiais de grafite porosos com diferentes tamanhos de poros e porosidades para atender a diferentes requisitos de aplicação.
Grafite Porosa Grafite porosa de crescimento de cristal SiC Cadinho de grafite de três pétalas
Na verdade, a VeTek Semiconductor tem uma posição de liderança absoluta no mercado de susceptores de grafite revestido com sic da China, no mercado de cadinho de grafite revestido com tac e no mercado de bandejas de grafite revestidas com carboneto de silício. VeTek Semiconductor é um fabricante, fornecedor e fábrica chinês profissional de produtos especiais de grafite, comoGrafite porosa de crescimento de cristal SiC, Revestimento pirolítico de carbono, Revestimento de carbono vítreo, Grafite Isotrópica, Grafite SiliconizadaeFolha de grafite de alta pureza. estamos comprometidos em fornecer soluções avançadas para vários produtos especiais de grafite para a indústria de semicondutores.
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