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Produtos > Revestimento de carboneto de silício > Processo de gravação ICP/PSS > Placa transportadora de gravação PSS para semicondutores
Placa transportadora de gravação PSS para semicondutores
A placa transportadora de gravação PSS para semicondutores da VeTek Semiconductor é um transportador de grafite ultrapuro e de alta qualidade projetado para processos de manuseio de wafer. Nossos transportadores têm excelente desempenho e podem funcionar bem em ambientes agressivos, altas temperaturas e condições severas de limpeza química. Nossos produtos são amplamente utilizados em muitos mercados europeus e americanos e esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
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Descrição do produto
Como fabricante profissional, gostaríamos de fornecer placa transportadora de gravação PSS de alta qualidade para semicondutores. A placa transportadora de gravação PSS para semicondutores da VeTek Semiconductor é um componente especializado usado na indústria de semicondutores para o processo de gravação por espectroscopia de fonte de plasma (PSS). Esta placa desempenha um papel crucial no suporte e transporte dos wafers semicondutores durante o processo de gravação.
Características principais:
Design de precisão: A placa transportadora é projetada com dimensões precisas e planicidade de superfície para garantir gravação uniforme e consistente nos wafers semicondutores. Ele fornece uma plataforma estável e controlada para os wafers, permitindo resultados de gravação precisos e confiáveis.
Resistência ao Plasma: A placa transportadora apresenta excelente resistência ao plasma utilizado no processo de gravação. Ele permanece inalterado pelos gases reativos e pelo plasma de alta energia, garantindo vida útil prolongada e desempenho consistente.
Condutividade Térmica: A placa transportadora apresenta alta condutividade térmica para dissipar com eficiência o calor gerado durante o processo de gravação. Isso ajuda a manter o controle ideal da temperatura e evita o superaquecimento dos wafers semicondutores.
Compatibilidade: A placa transportadora de gravação PSS foi projetada para ser compatível com vários tamanhos de wafer semicondutor comumente usados na indústria, garantindo versatilidade e facilidade de uso em diferentes processos de fabricação.
Parâmetro do produto da placa transportadora de gravação PSS para semicondutores
| Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC | |
| Propriedade | Valor típico |
| Estrutura de cristal | FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111) |
| Densidade | 3,21g/cm³ |
| Dureza | Dureza Vickers 2500 (carga de 500g) |
| Tamanho de grão | 2~10μm |
| Pureza Química | 99,99995% |
| Capacidade de calor | 640 J·kg-1·K-1 |
| Temperatura de sublimação | 2700°C |
| Resistência à Flexão | 415 MPa RT de 4 pontos |
| Módulo de Young | Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| Condutividade térmica | 300W·m-1·K-1 |
| Expansão Térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Oficina de produção de semicondutores VeTek
Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:
Hot Tags: Placa transportadora de gravação PSS para semicondutores, China, fabricante, fornecedor, fábrica, personalizado, compra, avançado, durável, feito na China
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