Receptor LED EPI

A VeTek Semiconductor é fornecedora líder de revestimentos TaC e peças de grafite com revestimento SiC. Somos especializados na produção de Susceptores LED EPI de última geração, essenciais para processos de epitaxia de LED. Com um forte foco na inovação e qualidade, oferecemos soluções confiáveis que atendem aos rigorosos requisitos da indústria LED. Contate-nos hoje para discutir suas dúvidas e descobrir como nossos produtos podem aprimorar seus processos de fabricação.

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Descrição do produto

Como fabricante profissional, gostaríamos de fornecer susceptor LED EPI de alta qualidade.

Susceptor LED EPI da VeTek Semiconductor, um produto de última geração projetado para processos de crescimento de epitaxia de LED. Este susceptor de alta qualidade serve como transportador de wafer para epitaxia de LED, fornecendo suporte essencial e mantendo o crescimento de wafers epitaxiais de LED. Com seus recursos excepcionais e design avançado, o LED EPI Susceptor garante ótimo desempenho e confiabilidade durante todo o processo de epitaxia.

Fabricado com alta temperatura premium, o LED EPI Susceptor apresenta excelente tolerância à temperatura e estabilidade química. Seu design meticulosamente projetado garante contato uniforme e crescimento de wafers epitaxiais, ao mesmo tempo que oferece planicidade de superfície superior e resistência ao desgaste. A estrutura e as dimensões do susceptor são adaptadas para acomodar vários tamanhos de wafer epitaxial, acomodando facilmente diferentes diâmetros e espessuras.

O LED EPI Susceptor incorpora excelente condutividade térmica, dissipando o calor com eficiência para manter uma temperatura de crescimento estável para wafers epitaxiais. Esse recurso crucial melhora a estabilidade e a consistência do processo, garantindo um crescimento de LED consistente e de alta qualidade.

Para melhorar ainda mais seu desempenho, o LED EPI Susceptor é revestido com uma película fina de carboneto de tântalo (TaC) premium. Este revestimento oferece excepcional estabilidade em altas temperaturas, resistência química, dureza, resistência ao desgaste e melhor condutividade térmica. O revestimento TaC aumenta significativamente a durabilidade e confiabilidade do produto, garantindo desempenho ideal e duradouro.

O LED EPI Susceptor da VeTek Semiconductor possui compatibilidade perfeita com vários equipamentos e processos de epitaxia de LED, tornando-o uma solução versátil para diversos requisitos de crescimento de wafer epitaxial. Oferecendo excelência e precisão, o LED EPI Susceptor é a escolha ideal para obter processos de epitaxia de LED confiáveis e eficientes.

Experimente a revolução da epitaxia com o LED EPI Susceptor da VeTek Semiconductor – a solução confiável para crescimento superior de LED.

Propriedades físicas básicas do revestimento TaC:

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade	14,3 (g/cm³)
Emissividade específica	0.3
Coeficiente de expansão térmica	6,3 10-6/K
Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
Resistência	1×10-5 Ohm*cm
Estabilidade térmica	<2500℃
Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)