Mandril de wafer de carboneto de silício

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck usa as excelentes propriedades dos materiais de carboneto de silício para atender aos rigorosos requisitos de produção de semicondutores, especialmente no processamento de semicondutores que requer precisão e confiabilidade extremamente altas.

No processo de processamento de semicondutores,Carboneto de Silíciotem excelente resistência a altas temperaturas (pode funcionar de forma estável em até 1400°C), baixa condutividade (SiC tem uma condutividade relativamente baixa, normalmente 10^^-3S/m) e baixo coeficiente de expansão térmica (cerca de 4,0 × 10^^-6/°C), que é um material indispensável e importante, especialmente adequado para a fabricação de Mandril Wafer de Carboneto de Silício.

Durante oprocesso de crescimento epitaxial, uma fina camada de material semicondutor é depositada em um substrato, exigindo estabilidade absoluta do wafer para garantir camadas de deposição de filme uniformes e de alta qualidade. O SiC Vacuum Chuck consegue isso criando uma retenção de vácuo firme e consistente para evitar qualquer movimento ou deformação do wafer.

O mandril wafer de carboneto de silício também oferece excelente resistência ao choque térmico. Mudanças rápidas de temperatura são comuns na fabricação de semicondutores, e os materiais que não suportam essas flutuações podem rachar, entortar ou falhar. O carboneto de silício tem um baixo coeficiente de expansão térmica e pode manter sua forma e função mesmo sob mudanças drásticas de temperatura, garantindo que o wafer permaneça seguro durante o processo de epitaxia sem movimento ou desalinhamento.

Além disso, oprocesso de epitaxiafrequentemente envolve gases reativos e outros produtos químicos corrosivos. A inércia química do SiC Wafer Chuck garante que ele não seja afetado por esses ambientes agressivos, mantendo seu desempenho e prolongando sua vida útil. Essa durabilidade química não apenas reduz a frequência de substituição do Wafer Chuck, mas também garante um desempenho consistente do produto em vários ciclos de produção, ajudando a melhorar a eficiência geral e o custo-benefício do processo de fabricação de semicondutores.

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor líder de produtos de mandril de wafer de carboneto de silício na China. Podemos fornecer vários tipos de produtos Chuck, comoMandril cerâmico SiC poroso, Mandril de vácuo SiC poroso, Mandril de vácuo cerâmico porosoeMandril revestido com TaC, etc. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Esperamos sinceramente nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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