Receptor Aixtron MOCVD

Como fabricante e fornecedor profissional de susceptor Aixtron MOCVD na China, o susceptor Aixtron MOCVD da Vetek Semiconductor é amplamente utilizado no processo de deposição de filme fino de produção de semicondutores, especialmente envolvendo o processo MOCVD. A Vetek Semiconductor se concentra na fabricação e fornecimento de produtos Aixtron MOCVD Susceptor de alto desempenho. Dê boas-vindas ao seu inquérito.

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Descrição do produto

Os Susceptores produzidos porSemicondutores Veteksão feitos de substrato de grafite e material de revestimento de carboneto de silício (SiC). Dada a maior resistência ao desgaste, à corrosão e à dureza extremamente alta do material SiC, ele é particularmente adequado para uso em ambientes de processo agressivos. Portanto, os susceptores produzidos pela Vetek Semiconductor podem ser usados diretamente em processos MOCVD de alta temperatura sem tratamento de superfície adicional.

Os susceptores são componentes-chave na fabricação de semicondutores, especialmente em equipamentos MOCVD para processos de deposição de filmes finos. O principal papel deReceptor SiC Aixtronno processo MOCVD é transportar wafers semicondutores, garantir a deposição uniforme e de alta qualidade de filmes finos, fornecendo distribuição de calor e ambiente de reação uniformes, alcançando assim a produção de filmes finos de alta qualidade.

Receptor Aixtron MOCVDé geralmente usado para apoiar e fixar a base de wafers semicondutores para garantir a estabilidade do wafer durante o processo de deposição. Ao mesmo tempo, o revestimento superficial do Susceptor Aixtron MOCVD é feito de carboneto de silício (SiC), um material altamente condutor térmico. O revestimento SiC garante temperatura uniforme na superfície do wafer, e o aquecimento uniforme é essencial para a obtenção de filmes de alta qualidade.

Além disso, oReceptor Aixtron MOCVDque produzimos desempenha um papel mais importante no controle do fluxo e distribuição de gases reativos por meio do design otimizado de materiais. Evite correntes parasitas e gradientes de temperatura para obter uma deposição uniforme do filme.

Mais importante ainda, no processo MOCVD, o material de revestimento de carboneto de silício (SiC) tem resistência à corrosão, portantoSemicondutores VetekdeReceptor Aixtron MOCVDtambém pode suportar altas temperaturas e gases corrosivos.

Propriedades físicas básicas deREVESTIMENTO SIC: