VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional que se dedica a fornecer susceptor epitaxial MOCVD de alta qualidade para wafer de 4". Com rica experiência no setor e uma equipe profissional, somos capazes de fornecer soluções especializadas e eficientes aos nossos clientes.
VeTek Semiconductor é um líder profissional China MOCVD Epitaxial Susceptor para fabricante de wafer de 4" com alta qualidade e preço razoável. Bem-vindo a entrar em contato conosco. O Susceptor Epitaxial MOCVD para wafer de 4" é um componente crítico na deposição de vapor químico metal-orgânico (MOCVD) processo, que é amplamente utilizado para o crescimento de filmes finos epitaxiais de alta qualidade, incluindo nitreto de gálio (GaN), nitreto de alumínio (AlN) e carboneto de silício (SiC). O susceptor serve como uma plataforma para segurar o substrato durante o processo de crescimento epitaxial e desempenha um papel crucial na garantia de distribuição uniforme de temperatura, transferência de calor eficiente e condições ideais de crescimento.
O susceptor epitaxial MOCVD para wafer de 4" é normalmente feito de grafite de alta pureza, carboneto de silício ou outros materiais com excelente condutividade térmica, inércia química e resistência a choque térmico.
Os susceptores epitaxiais MOCVD encontram aplicações em vários setores, incluindo:
Eletrônica de potência: crescimento de transistores de alta mobilidade eletrônica (HEMTs) baseados em GaN para aplicações de alta potência e alta frequência.
Optoeletrônica: crescimento de diodos emissores de luz (LEDs) e diodos laser baseados em GaN para tecnologias eficientes de iluminação e exibição.
Sensores: crescimento de sensores piezoelétricos baseados em AlN para detecção de pressão, temperatura e ondas acústicas.
Eletrônica de alta temperatura: crescimento de dispositivos de energia baseados em SiC para aplicações de alta temperatura e alta potência.
Propriedades físicas da grafite isostática | ||
Propriedade | Unidade | Valor típico |
Densidade aparente | g/cm³ | 1.83 |
Dureza | HD | 58 |
Resistividade elétrica | mΩ.m | 10 |
Resistência à Flexão | MPa | 47 |
Força compressiva | MPa | 103 |
Resistência à tracção | MPa | 31 |
Módulo de Young | GPa | 11.8 |
Expansão Térmica (CTE) | 10-6K-1 | 4.6 |
Condutividade térmica | W·m-1·K-1 | 130 |
Tamanho Médio de Grão | μm | 8-10 |
Porosidade | % | 10 |
Conteúdo de cinzas | ppm | ≤10 (depois de purificado) |
Nota: Antes do revestimento, faremos a primeira purificação, após o revestimento, faremos a segunda purificação.
Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC | |
Propriedade | Valor típico |
Estrutura de cristal | FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111) |
Densidade | 3,21g/cm³ |
Dureza | Dureza Vickers 2500 (carga de 500g) |
Tamanho de grão | 2~10μm |
Pureza Química | 99,99995% |
Capacidade de calor | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura de sublimação | 2700°C |
Resistência à Flexão | 415 MPa RT de 4 pontos |
Módulo de Young | Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Condutividade térmica | 300W·m-1·K-1 |
Expansão Térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |