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Susceptor Epitaxial MOCVD para Wafer de 4
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Susceptor Epitaxial MOCVD para Wafer de 4"

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional que se dedica a fornecer susceptor epitaxial MOCVD de alta qualidade para wafer de 4". Com rica experiência no setor e uma equipe profissional, somos capazes de fornecer soluções especializadas e eficientes aos nossos clientes.

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Descrição do produto

VeTek Semiconductor é um líder profissional China MOCVD Epitaxial Susceptor para fabricante de wafer de 4" com alta qualidade e preço razoável. Bem-vindo a entrar em contato conosco. O Susceptor Epitaxial MOCVD para wafer de 4" é um componente crítico na deposição de vapor químico metal-orgânico (MOCVD) processo, que é amplamente utilizado para o crescimento de filmes finos epitaxiais de alta qualidade, incluindo nitreto de gálio (GaN), nitreto de alumínio (AlN) e carboneto de silício (SiC). O susceptor serve como uma plataforma para segurar o substrato durante o processo de crescimento epitaxial e desempenha um papel crucial na garantia de distribuição uniforme de temperatura, transferência de calor eficiente e condições ideais de crescimento.

O susceptor epitaxial MOCVD para wafer de 4" é normalmente feito de grafite de alta pureza, carboneto de silício ou outros materiais com excelente condutividade térmica, inércia química e resistência a choque térmico.


Formulários:

Os susceptores epitaxiais MOCVD encontram aplicações em vários setores, incluindo:

Eletrônica de potência: crescimento de transistores de alta mobilidade eletrônica (HEMTs) baseados em GaN para aplicações de alta potência e alta frequência.

Optoeletrônica: crescimento de diodos emissores de luz (LEDs) e diodos laser baseados em GaN para tecnologias eficientes de iluminação e exibição.

Sensores: crescimento de sensores piezoelétricos baseados em AlN para detecção de pressão, temperatura e ondas acústicas.

Eletrônica de alta temperatura: crescimento de dispositivos de energia baseados em SiC para aplicações de alta temperatura e alta potência.


Parâmetro do produto do susceptor epitaxial MOCVD para wafer de 4"

Propriedades físicas da grafite isostática
Propriedade Unidade Valor típico
Densidade aparente g/cm³ 1.83
Dureza HD 58
Resistividade elétrica mΩ.m 10
Resistência à Flexão MPa 47
Força compressiva MPa 103
Resistência à tracção MPa 31
Módulo de Young GPa 11.8
Expansão Térmica (CTE) 10-6K-1 4.6
Condutividade térmica W·m-1·K-1 130
Tamanho Médio de Grão μm 8-10
Porosidade % 10
Conteúdo de cinzas ppm ≤10 (depois de purificado)

Nota: Antes do revestimento, faremos a primeira purificação, após o revestimento, faremos a segunda purificação.


Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura de cristal FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade 3,21g/cm³
Dureza Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho de grão 2~10μm
Pureza Química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimação 2700°C
Resistência à Flexão 415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade térmica 300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE) 4,5×10-6K-1


Oficina de produção de semicondutores VeTek


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