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Bloco susceptor semicondutor revestido com SiC
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Bloco susceptor semicondutor revestido com SiC

O bloco susceptor semicondutor da VeTek Semiconductor revestido com SiC é um dispositivo altamente confiável e durável. Ele foi projetado para suportar altas temperaturas e ambientes químicos agressivos, mantendo um desempenho estável e uma longa vida útil. Com suas excelentes capacidades de processo, o Bloco Susceptor Semicondutor Revestido com SiC reduz a frequência de substituição e manutenção, melhorando assim a eficiência da produção. Estamos ansiosos pela oportunidade de colaborar com você.

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Descrição do produto

Bloco susceptor semicondutor de alta qualidade revestido com SiC é oferecido pelo fabricante chinês VeTek Semiconductor. Compre bloco susceptor semicondutor revestido com SiC, que é de alta qualidade diretamente da fábrica.

O bloco susceptor semicondutor da VeTek Semiconductor revestido com SiC é projetado especificamente para uso em sistemas VEECO GaN e utiliza a tecnologia MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition). Este bloco susceptor é um componente vital, feito de material de grafite de alta pureza, alta densidade e alta resistência. É revestido com nosso revestimento CVD SiC proprietário, que garante excelente adesão, prolonga a vida útil do produto e garante aquecimento uniforme durante o processo de fabricação.

O revestimento denso do bloco susceptor semicondutor revestido com SiC aumenta sua durabilidade e confiabilidade, ao mesmo tempo que garante uma distribuição de calor consistente e uniforme. Isto contribui diretamente para o alto rendimento do produto durante o processamento. Ao combinar material de grafite de alta qualidade com nosso revestimento CVD SiC avançado, alcançamos um produto com desempenho superior e vida útil prolongada.

O bloco susceptor semicondutor revestido com SiC desempenha um papel crucial na manutenção da uniformidade ideal da temperatura e no aumento da eficiência geral do processo de fabricação. Suas excepcionais propriedades de revestimento e construção robusta garantem desempenho confiável e longevidade. Com este produto, você pode obter altos rendimentos de processamento e qualidade superior do produto.

Temos o compromisso de fornecer a você uma solução de alto desempenho que atenda às suas necessidades específicas em sistemas VEECO GaN. Nosso susceptor de semicondutores define o padrão da indústria em termos de durabilidade, uniformidade e confiabilidade, garantindo que seus processos de fabricação sejam eficientes e produtivos.


Parâmetro do produto do bloco susceptor semicondutor revestido de SiC

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura de cristal FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade 3,21g/cm³
Dureza Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho de grão 2~10μm
Pureza Química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimação 2700°C
Resistência à Flexão 415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade térmica 300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE) 4,5×10-6K-1



Oficina de produção de semicondutores VeTek


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:


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