VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de chuveiro CVD SiC na China. Somos especializados em material SiC há muitos anos. erosão plasmática. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
Você pode ter a certeza de comprar chuveiro CVD SiC de nossa fábrica. O chuveiro VeTek Semiconductor CVD SiC é feito de carboneto de silício sólido (SiC) usando técnicas avançadas de deposição química de vapor (CVD). O SiC é escolhido por sua excepcional condutividade térmica, resistência química e resistência mecânica, ideal para componentes de SiC de grande volume, como o chuveiro CVD SiC.
Projetado para a fabricação de semicondutores, o chuveiro CVD SiC suporta altas temperaturas e processamento de plasma. Seu controle preciso do fluxo de gás e propriedades superiores do material garantem processos estáveis e confiabilidade a longo prazo. O uso de CVD SiC melhora o gerenciamento térmico e a estabilidade química, melhorando a qualidade e o desempenho do produto semicondutor.
O chuveiro CVD SiC aumenta a eficiência do crescimento epitaxial, distribuindo os gases do processo uniformemente e protegendo a câmara contra contaminação. Ele resolve com eficácia os desafios de fabricação de semicondutores, como controle de temperatura, estabilidade química e consistência do processo, fornecendo soluções confiáveis aos clientes.
Utilizado em sistemas MOCVD, epitaxia de Si e epitaxia de SiC, o chuveiro CVD SiC suporta a produção de dispositivos semicondutores de alta qualidade. Seu papel crítico garante controle e estabilidade precisos do processo, atendendo a diversos requisitos dos clientes para produtos confiáveis e de alto desempenho.
Propriedades físicas do SiC Sólido | |||
Densidade | 3.21 | g/cm3 | |
Resistividade da Eletricidade | 102 | Ω/cm | |
Resistência Flexural | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
Módulo de Young | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
Dureza Vickers | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
CTE (RT-1000 ℃) | 4.0 | x10-6/K | |
Condutividade Térmica (TR) | 250 | C/mK |