Cabeça de chuveiro SiC CVD
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Cabeça de chuveiro SiC CVD

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de chuveiro CVD SiC na China. Somos especializados em material SiC há muitos anos. erosão plasmática. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Você pode ter a certeza de comprar chuveiro CVD SiC de nossa fábrica. O chuveiro VeTek Semiconductor CVD SiC é feito de carboneto de silício sólido (SiC) usando técnicas avançadas de deposição química de vapor (CVD). O SiC é escolhido por sua excepcional condutividade térmica, resistência química e resistência mecânica, ideal para componentes de SiC de grande volume, como o chuveiro CVD SiC.


Desempenho e vantagens do produto:

Projetado para a fabricação de semicondutores, o chuveiro CVD SiC suporta altas temperaturas e processamento de plasma. Seu controle preciso do fluxo de gás e propriedades superiores do material garantem processos estáveis ​​e confiabilidade a longo prazo. O uso de CVD SiC melhora o gerenciamento térmico e a estabilidade química, melhorando a qualidade e o desempenho do produto semicondutor.


Atendendo às necessidades do cliente:

O chuveiro CVD SiC aumenta a eficiência do crescimento epitaxial, distribuindo os gases do processo uniformemente e protegendo a câmara contra contaminação. Ele resolve com eficácia os desafios de fabricação de semicondutores, como controle de temperatura, estabilidade química e consistência do processo, fornecendo soluções confiáveis ​​aos clientes.


Cenários de aplicação:

Utilizado em sistemas MOCVD, epitaxia de Si e epitaxia de SiC, o chuveiro CVD SiC suporta a produção de dispositivos semicondutores de alta qualidade. Seu papel crítico garante controle e estabilidade precisos do processo, atendendo a diversos requisitos dos clientes para produtos confiáveis ​​e de alto desempenho.


Parâmetro do produto do chuveiro CVD SiC:

Propriedades físicas do SiC Sólido
Densidade 3.21 g/cm3
Resistividade da Eletricidade 102 Ω/cm
Resistência Flexural 590 MPa (6000kgf/cm2)
Módulo de Young 450 GPa (6000kgf/mm2)
Dureza Vickers 26 GPa (2650kgf/mm2)
CTE (RT-1000 ℃) 4.0 x10-6/K
Condutividade Térmica (TR) 250 C/mK


Oficina de produção


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