Cabeça de chuveiro a gás SiC sólido

Cabeça de chuveiro a gás SiC sólido

VeTek Semiconductor é uma empresa integrada dedicada à pesquisa, produção e vendas. Com mais de 20 anos de experiência, nossa equipe é especializada em revestimentos de SiC, TaC e SiC sólido CVD. Bem-vindo ao comprar de nós chuveiro de gás sólido SiC.

O chuveiro de gás SiC sólido VeTek Semiconductor é comumente usado para distribuir uniformemente gases precursores na superfície do substrato durante processos CVD de semicondutores. O uso de material CVD-SiC para chuveiros oferece diversas vantagens. Sua alta condutividade térmica auxilia na dissipação do calor gerado no processo CVD, garantindo distribuição uniforme de temperatura no substrato. Além disso, a estabilidade química do chuveiro a gás SiC sólido permite que ele resista a gases corrosivos e ambientes agressivos comumente encontrados em processos CVD. O design dos chuveiros CVD-SiC pode ser adaptado a sistemas CVD específicos e requisitos de processo. No entanto, eles normalmente consistem em uma placa ou componente em forma de disco com uma série de furos ou ranhuras perfurados com precisão. O padrão e a geometria do furo são cuidadosamente projetados para garantir distribuição uniforme de gás e velocidade de fluxo sobre a superfície do substrato.

Propriedades Físicas do SiC Sólido

Oficina de produção de semicondutores VeTek

Cadeia da Indústria de Epitaxia de Semicondutores