VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de chuveiro de gás SiC sólido na China. Somos especializados em material semicondutor há muitos anos. , garantindo que o substrato seja aquecido uniformemente. Estamos ansiosos para estabelecer um relacionamento de longo prazo com você na China.
VeTek Semiconductor é uma empresa integrada dedicada à pesquisa, produção e vendas. Com mais de 20 anos de experiência, nossa equipe é especializada em revestimentos de SiC, TaC e SiC sólido CVD. Bem-vindo ao comprar de nós chuveiro de gás sólido SiC.
O chuveiro de gás SiC sólido VeTek Semiconductor é comumente usado para distribuir uniformemente gases precursores na superfície do substrato durante processos CVD de semicondutores. O uso de material CVD-SiC para chuveiros oferece diversas vantagens. Sua alta condutividade térmica auxilia na dissipação do calor gerado no processo CVD, garantindo distribuição uniforme de temperatura no substrato. Além disso, a estabilidade química do chuveiro CVD sic permite que ele resista a gases corrosivos e ambientes agressivos comumente encontrados em processos CVD.
O design dos chuveiros CVD SiC pode ser adaptado a sistemas CVD específicos e requisitos de processo. No entanto, eles normalmente consistem em uma placa ou componente em forma de disco com uma série de furos ou ranhuras perfurados com precisão. O padrão e a geometria do furo são cuidadosamente projetados para garantir distribuição uniforme de gás e velocidade de fluxo sobre a superfície do substrato.
Propriedades físicas do SiC Sólido | |||
Densidade | 3.21 | g/cm3 | |
Resistividade da Eletricidade | 102 | Ω/cm | |
Resistência Flexural | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
Módulo de Young | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
Dureza Vickers | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
CTE (RT-1000 ℃) | 4.0 | x10-6/K | |
Condutividade Térmica (RT) | 250 | C/mK |