VeTek Semiconductor é um fabricante líder de susceptor de barril revestido de SiC para LPE PE2061S e inovador na China. Somos especializados em material de revestimento de SiC há muitos anos. Oferecemos um susceptor de barril revestido de SiC projetado especificamente para wafers LPE PE2061S 4''. Este susceptor apresenta um revestimento durável de carboneto de silício que melhora o desempenho e a durabilidade durante o processo LPE (epitaxia de fase líquida). Convidamos você a visitar nossa fábrica na China.
VeTek Semiconductor é um susceptor de barril revestido de SiC da China profissional paraLPE PE2061Sfabricante e fornecedor.
O susceptor de barril revestido com SiC VeTeK Semiconductor para LPE PE2061S é um produto de alto desempenho criado pela aplicação de uma fina camada de carboneto de silício na superfície de grafite isotrópica altamente purificada. Isto é conseguido através do software proprietário da VeTeK SemiconductorDeposição Química de Vapor (CVD)processo.
Nosso susceptor de barril revestido de SiC para LPE PE2061S é um tipo de reator de barril de deposição epitaxial CVD projetado para fornecer desempenho confiável em ambientes extremos. Sua excepcional adesão de revestimento, resistência à oxidação em altas temperaturas e resistência à corrosão o tornam uma excelente escolha para uso em condições adversas. Além disso, seu perfil térmico uniforme e padrão de fluxo de gás laminar evitam a contaminação, garantindo um crescimento epitaxial de alta qualidade.
O design em forma de barril do nosso semicondutorreator epitaxialotimiza padrões de fluxo de gás laminar, garantindo distribuição uniforme de calor. Isto ajuda a evitar qualquer contaminação ou difusão de impurezas,garantindo crescimento epitaxial de alta qualidade em substratos de wafer.
Estamos empenhados em fornecer aos nossos clientes produtos de alta qualidade e com boa relação custo-benefício. Nosso Susceptor de Barril revestido com CVD SiC oferece a vantagem de competitividade de preços, mantendo excelente densidade tanto para osubstrato de grafiteerevestimento de carboneto de silício, fornecendo proteção confiável em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.
DADOS SEM DA ESTRUTURA DE CRISTAL DO FILME CVD SIC:
O susceptor de barril revestido com SiC para crescimento de cristal único exibe uma suavidade superficial muito alta.
Minimiza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e
revestimento de carboneto de silício, melhorando efetivamente a resistência da ligação e evitando rachaduras e delaminação.
Tanto o substrato de grafite quanto o revestimento de carboneto de silício possuem alta condutividade térmica e excelentes capacidades de distribuição térmica.
Tem um alto ponto de fusão, alta temperaturaresistência à oxidação, eresistência à corrosão.
Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC | |
Propriedade | Valor típico |
Estrutura Cristalina | FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111) |
Densidade | 3,21g/cm³ |
Dureza | Dureza Vickers 2500 (carga de 500g) |
Tamanho do grão | 2~10μm |
Pureza Química | 99,99995% |
Capacidade de calor | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura de Sublimação | 2700°C |
Resistência Flexural | 415 MPa RT de 4 pontos |
Módulo de Young | Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Condutividade Térmica | 300W·m-1·K-1 |
Expansão Térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |