Transportador de revestimento CVD TaC

A VeTek Semiconductor é uma empresa líder profissional na China CVD TaC Coating Carrier, EPITAXY SUSCEPTOR,Susceptor de grafite revestido com TaCfabricante.

Através de pesquisa contínua de processos e inovação de materiais, o transportador de revestimento CVD TaC da Vetek Semiconductor desempenha um papel muito crítico no processo epitaxial, incluindo principalmente os seguintes aspectos:

Proteção de substrato: O transportador de revestimento CVD TaC fornece excelente estabilidade química e estabilidade térmica, evitando efetivamente que gases corrosivos e de alta temperatura corroam o substrato e a parede interna do reator, garantindo a pureza e estabilidade do ambiente do processo.

Uniformidade térmica: Combinado com a alta condutividade térmica do transportador de revestimento CVD TaC, garante a uniformidade da distribuição de temperatura dentro do reator, otimiza a qualidade do cristal e a uniformidade da espessura da camada epitaxial e melhora a consistência do desempenho do produto final.

Controle de contaminação por partículas: Como os transportadores revestidos com CVD TaC têm taxas de geração de partículas extremamente baixas, as propriedades da superfície lisa reduzem significativamente o risco de contaminação por partículas, melhorando assim a pureza e o rendimento durante o crescimento epitaxial.

Vida útil prolongada do equipamento: Combinado com a excelente resistência ao desgaste e à corrosão do suporte de revestimento CVD TaC, prolonga significativamente a vida útil dos componentes da câmara de reação, reduz o tempo de inatividade do equipamento e os custos de manutenção e melhora a eficiência da produção.

Combinando as características acima, o transportador de revestimento CVD TaC da VeTek Semiconductor não apenas melhora a confiabilidade do processo e a qualidade do produto no processo de crescimento epitaxial, mas também fornece uma solução econômica para a fabricação de semicondutores.

Revestimento de carboneto de tântalo em uma seção transversal microscópica:

Propriedades físicas do transportador de revestimento CVD TaC:

Oficina de produção de revestimento VeTek Semiconductor CVD SiC: