Peça de meia lua revestida de carboneto de tântalo para LPE

VeTek Semiconductor é uma peça Halfmoon revestida com carboneto de tântalo em grande escala para fabricante e inovador de LPE na China. Somos especializados em revestimento TaC há muitos anos. para se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Como fabricante profissional, a VeTek Semiconductor gostaria de fornecer a você peça meia-lua revestida com carboneto de tântalo de alta qualidade para LPE.

VeTek Semiconductor é um líder profissional China SiC, revestimento TaC, fabricante de SiC sólido com alta qualidade e preço razoável. Nossa peça meia-lua revestida com carboneto de tântalo para LPE é usada na câmara de reação de equipamentos de epitaxia horizontal e vertical para transportar substrato, controle de temperatura, calor preservação, ventilação, proteção e outras funções, de modo a controlar conjuntamente a espessura, dopagem, defeitos e outras características do material do crescimento da camada epitaxia de SiC dentro da câmara de reação.

Produtos relacionados à VeTek Semiconductor: meia-lua superior, meia-lua inferior, capa protetora, capa de isolamento, interface de desvio de ar de processo. Nossa empresa está comprometida em fornecer aos clientes uma gama completa de soluções de componentes revestidos com SiC e TaC para câmaras de reação.

Parâmetro do produto da peça meia-lua revestida com carboneto de tântalo para LPE

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade	14,3 (g/cm³)
Emissividade específica	0.3
Coeficiente de expansão térmica	6,3 10-6/K
Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
Resistência	1×10-5 Ohm*cm
Estabilidade térmica	<2500℃
Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Oficina de produção de semicondutores VeTek

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

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