Cadinho de revestimento CVD TaC

O susceptor de rotação de revestimento TaC desempenha um papel fundamental em processos de deposição de alta temperatura, como CVD e MBE, e é um componente importante para processamento de wafer na fabricação de semicondutores. Entre eles,Revestimento TaCpossui excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão e estabilidade química, o que garante alta precisão e alta qualidade durante o processamento de wafer.

O cadinho de revestimento CVD TaC geralmente consiste em revestimento TaC egrafitesubstrato. Entre eles, o TaC é um material cerâmico de alto ponto de fusão com ponto de fusão de até 3880°C. Possui dureza extremamente alta (dureza Vickers até 2.000 HV), resistência à corrosão química e forte resistência à oxidação. Portanto, o revestimento TaC é um excelente material resistente a altas temperaturas na tecnologia de processamento de semicondutores.

O substrato de grafite possui boa condutividade térmica (a condutividade térmica é de cerca de 21 W/m·K) e excelente estabilidade mecânica. Esta característica determina que o grafite se torne um revestimento idealsubstrato.

O cadinho de revestimento CVD TaC é usado principalmente nas seguintes tecnologias de processamento de semicondutores:

Fabricação de wafer: O cadinho de revestimento VeTek Semiconductor CVD TaC tem excelente resistência a altas temperaturas (ponto de fusão de até 3880 ° C) e resistência à corrosão, por isso é frequentemente usado nos principais processos de fabricação de wafer, como deposição de vapor em alta temperatura (CVD) e crescimento epitaxial. Combinado com a excelente estabilidade estrutural do produto em ambientes de temperatura ultra-alta, garante que o equipamento possa operar de forma estável por um longo tempo sob condições extremamente adversas, melhorando assim efetivamente a eficiência da produção e a qualidade dos wafers.

Processo de crescimento epitaxial: Em processos epitaxiais comodeposição química de vapor (CVD)e epitaxia de feixe molecular (MBE), o cadinho de revestimento CVD TaC desempenha um papel fundamental no transporte. Seu revestimento TaC pode não apenas manter a alta pureza do material sob temperaturas extremas e atmosfera corrosiva, mas também prevenir eficazmente a contaminação dos reagentes do material e a corrosão do reator, garantindo a precisão do processo de produção e a consistência do produto.

Como principal fabricante e líder de cadinho de revestimento CVD TaC da China, a VeTek Semiconductor pode fornecer produtos personalizados e serviços técnicos de acordo com seus requisitos de equipamento e processo. Esperamos sinceramente nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica：

Propriedades físicas do revestimento TaC：

Semicondutor VeTek Lojas de cadinho de revestimento CVD TaC: