Susceptor epitaxial SiC planetário com revestimento CVD TaC

O reator planetário Aixtron é um dos mais avançadosEquipamento MOCVD. Tornou-se um modelo de aprendizagem para muitos fabricantes de reatores. Baseado no princípio do reator de fluxo laminar horizontal, garante uma transição clara entre diferentes materiais e possui controle incomparável sobre a taxa de deposição na área da camada atômica única, depositando-se em um wafer rotativo sob condições específicas. 

O mais crítico deles é o mecanismo de rotação múltipla: o reator adota múltiplas rotações do susceptor epitaxial SiC planetário de revestimento CVD TaC. Esta rotação permite que o wafer seja exposto uniformemente ao gás de reação durante a reação, garantindo assim que o material depositado no wafer tenha excelente uniformidade na espessura da camada, composição e dopagem.

A cerâmica TaC é um material de alto desempenho com alto ponto de fusão (3880°C), excelente condutividade térmica, condutividade elétrica, alta dureza e outras excelentes propriedades, a mais importante é a resistência à corrosão e à oxidação. Para as condições de crescimento epitaxial de materiais semicondutores de SiC e nitreto do grupo III, o TaC possui excelente inércia química. Portanto, o susceptor epitaxial SiC planetário com revestimento CVD TaC preparado pelo método CVD tem vantagens óbvias noCrescimento epitaxial de SiCprocesso.

Imagem SEM da seção transversal de grafite revestida com TaC

●  Resistência a altas temperaturas:A temperatura de crescimento epitaxial do SiC é tão alta quanto 1500°C - 1700°C ou até mais alta. O ponto de fusão do TaC chega a cerca de 4.000 ℃. Depois doRevestimento TaCé aplicado à superfície de grafite, opeças de grafitepode manter boa estabilidade em altas temperaturas, suportar as condições de alta temperatura do crescimento epitaxial de SiC e garantir o progresso suave do processo de crescimento epitaxial.

●  Resistência aprimorada à corrosão:O revestimento TaC tem boa estabilidade química, isola efetivamente esses gases químicos do contato com o grafite, evita a corrosão do grafite e prolonga a vida útil das peças de grafite.

●  Condutividade térmica aprimorada:O revestimento TaC pode melhorar a condutividade térmica do grafite, para que o calor possa ser distribuído de maneira mais uniforme na superfície das peças de grafite, proporcionando um ambiente de temperatura estável para o crescimento epitaxial do SiC. Isto ajuda a melhorar a uniformidade de crescimento da camada epitaxial de SiC.

●  Reduzir a contaminação por impurezas:O revestimento TaC não reage com o SiC e pode servir como uma barreira eficaz para evitar que elementos de impureza nas peças de grafite se difundam na camada epitaxial de SiC, melhorando assim a pureza e o desempenho do wafer epitaxial de SiC.

A VeTek Semiconductor é capaz e boa em fabricar susceptor epitaxial SiC planetário com revestimento CVD TaC e pode fornecer aos clientes produtos altamente personalizados. estamos ansiosos para sua pergunta.

Propriedades físicas deRevestimento de carboneto de tântalo 

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