Susceptor de Epi LED MOCVD

Semicondutor VeTekéSusceptor de Epi LED MOCVDé um componente central. No processo de preparação de dispositivos semicondutores,Susceptor de Epi LED MOCVDnão é apenas uma simples plataforma de aquecimento, mas também uma ferramenta de processo de precisão, que tem um impacto profundo na qualidade, taxa de crescimento, uniformidade e outros aspectos dos materiais de película fina.

Os usos específicos deSusceptor de Epi LED MOCVDno processamento de semicondutores são os seguintes:

Aquecimento do substrato e controle de uniformidade:

O Susceptor Epitaxy MOCVD é usado para fornecer aquecimento uniforme para garantir a temperatura estável do substrato durante o crescimento epitaxial. Isto é essencial para obter filmes semicondutores de alta qualidade e garantir consistência na espessura e qualidade do cristal das camadas epitaxiais em todo o substrato.

Suporte para câmaras de reatores de deposição química de vapor (CVD):

Como um componente importante no reator CVD, o Susceptor suporta a deposição de compostos orgânicos metálicos em substratos. Ajuda a converter com precisão esses compostos em filmes sólidos para formar os materiais semicondutores desejados.

Promover a distribuição de gás:

O design do Susceptor pode otimizar a distribuição do fluxo de gases na câmara de reação, garantindo que o gás de reação entre em contato com o substrato uniformemente, melhorando assim a uniformidade e a qualidade dos filmes epitaxiais.

Você pode ter certeza de comprar personalizadoSusceptor de Epi LED MOCVDde nós, estamos ansiosos para cooperar com você. Se quiser saber mais informações, pode consultar-nos imediatamente e responderemos atempadamente!

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Oficinas de produção:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores：