Avanço da tecnologia de carboneto de tântalo, poluição epitaxial de SiC reduzida em 75%?

Recentemente, o instituto de investigação alemão Fraunhofer IISB fez um avanço na investigação e desenvolvimento detecnologia de revestimento de carboneto de tântaloe desenvolveu uma solução de revestimento por pulverização que é mais flexível e ecologicamente correta do que a solução de deposição de CVD, e foi comercializada.

E os semicondutores veterinários domésticos também fizeram avanços neste campo, veja abaixo para obter detalhes.

Fraunhofer IISB:

Desenvolvendo uma nova tecnologia de revestimento TaC

No dia 5 de março, segundo a mídia "Semicondutor Composto", o Fraunhofer IISB desenvolveu um novotecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (TaC)-Tacota. A licença de tecnologia foi transferida para o Nippon Kornmeyer Carbon Group (NKCG), e a NKCG começou a fornecer peças de grafite revestidas com TaC para seus clientes.

O método tradicional de produção de revestimentos TaC na indústria é a deposição química de vapor (CVD), que enfrenta desvantagens como altos custos de fabricação e longos prazos de entrega. Além disso, o método CVD também é propenso à quebra do TaC durante repetidos aquecimentos e resfriamentos de componentes. Estas fissuras expõem a grafite subjacente, que se degrada severamente com o tempo e precisa de ser substituída.

A inovação do Taccotta é que ele utiliza um método de revestimento por pulverização à base de água seguido de tratamento térmico para formar um revestimento TaC com alta estabilidade mecânica e espessura ajustável na superfície.substrato de grafite. A espessura do revestimento pode ser ajustada de 20 mícrons a 200 mícrons para atender a diferentes requisitos de aplicação.

A tecnologia de processo TaC desenvolvida pela Fraunhofer IISB pode ajustar as propriedades de revestimento necessárias, como espessura, conforme mostrado abaixo na faixa de 35 μm a 110 μm

Especificamente, o revestimento em spray Taccotta também possui as seguintes características e vantagens principais:

● Mais ecológico: Com revestimento em spray à base de água, este método é mais ecológico e fácil de industrializar;

● Flexibilidade: A tecnologia Taccotta pode se adaptar a componentes de diferentes tamanhos e geometrias, permitindo revestimento parcial e reforma de componentes, o que não é possível em CVD.

● Redução da poluição por tântalo: Componentes de grafite com revestimento Taccotta são usados ​​na fabricação epitaxial de SiC, e a poluição por tântalo é reduzida em 75% em comparação com os existentesRevestimentos CVD.

● Resistência ao desgaste: Testes de riscos mostram que o aumento da espessura do revestimento pode melhorar significativamente a resistência ao desgaste.

Teste de arranhão

É relatado que a tecnologia foi promovida para comercialização pela NKCG, uma joint venture focada no fornecimento de materiais de grafite de alto desempenho e produtos relacionados. A NKCG também participará do desenvolvimento da tecnologia Taccotta por um longo período no futuro. A empresa começou a fornecer componentes de grafite baseados na tecnologia Taccotta para seus clientes.

Vetek Semiconductor promove a localização de TaC

No início de 2023, a vetek semiconductor lançou uma nova geração deCrescimento de cristais de SiCmaterial de campo térmico-carboneto de tântalo poroso.

Segundo relatos, o semicondutor vetek lançou um avanço no desenvolvimento decarboneto de tântalo porosocom grande porosidade através de pesquisa e desenvolvimento de tecnologia independente. Sua porosidade pode chegar até 75%, alcançando liderança internacional.