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Susceptor de barril de grafite revestido de SiC
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Susceptor de barril de grafite revestido de SiC

O susceptor de barril de grafite revestido com SiC VeTek Semiconductor é uma bandeja de wafer de alto desempenho projetada para processos de epitaxia de semicondutores, oferecendo excelente condutividade térmica, alta temperatura e resistência química, uma superfície de alta pureza e opções personalizáveis ​​para aumentar a eficiência da produção. Bem-vindo ao seu inquérito adicional.

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Descrição do produto

O Susceptor de Barril de Grafite Revestido com SiC VeTek Semiconductor é uma solução avançada projetada especificamente para processos de epitaxia de semicondutores, particularmente em reatores LPE. Esta bandeja de wafer altamente eficiente foi projetada para otimizar o crescimento de materiais semicondutores, garantindo desempenho e confiabilidade superiores em ambientes de fabricação exigentes. 


Os produtos Susceptor de Barril de Grafite da Veteksemi têm as seguintes vantagens notáveis


Alta temperatura e resistência química: Fabricado para suportar os rigores das aplicações de alta temperatura, o susceptor de barril revestido de SiC apresenta notável resistência ao estresse térmico e à corrosão química. Seu revestimento de SiC protege o substrato de grafite contra oxidação e outras reações químicas que podem ocorrer em ambientes de processamento agressivos. Essa durabilidade não só prolonga a vida útil do produto, mas também reduz a frequência de substituições, contribuindo para a redução de custos operacionais e aumento da produtividade.


Condutividade térmica excepcional: Uma das características de destaque do Susceptor de Barril de Grafite Revestido com SiC é sua excelente condutividade térmica. Esta propriedade permite a distribuição uniforme da temperatura em todo o wafer, essencial para obter camadas epitaxiais de alta qualidade. A transferência de calor eficiente minimiza gradientes térmicos, que podem levar a defeitos nas estruturas semicondutoras, aumentando assim o rendimento geral e o desempenho do processo epitaxia.


Superfície de alta pureza: o alto puA superfície de integridade do susceptor de barril revestido de SiC CVD é crucial para manter a integridade dos materiais semicondutores que estão sendo processados. Os contaminantes podem afetar adversamente as propriedades elétricas dos semicondutores, tornando a pureza do substrato um fator crítico para o sucesso da epitaxia. Com seus processos de fabricação refinados, a superfície revestida de SiC garante contaminação mínima, promovendo crescimento de cristais de melhor qualidade e desempenho geral do dispositivo.


Aplicações no processo Epitaxy de Semicondutores

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor Working Schematic


A principal aplicação do Susceptor de Barril de Grafite Revestido com SiC está em reatores LPE, onde desempenha um papel fundamental no crescimento de camadas semicondutoras de alta qualidade. Sua capacidade de manter a estabilidade sob condições extremas e, ao mesmo tempo, facilitar a distribuição ideal de calor, torna-o um componente essencial para fabricantes que se concentram em dispositivos semicondutores avançados. Ao utilizar este susceptor, as empresas podem esperar um melhor desempenho na produção de materiais semicondutores de alta pureza, abrindo caminho para o desenvolvimento de tecnologias de ponta.


A VeTeksemi está há muito comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Os susceptores de barril de grafite revestidos com SiC da VeTek Semiconductor oferecem opções personalizadas adaptadas a aplicações e requisitos específicos. Seja modificando dimensões, aprimorando propriedades térmicas específicas ou adicionando recursos exclusivos para processos especializados, a VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer soluções que atendam plenamente às necessidades dos clientes. Esperamos sinceramente nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.


ESTRUTURA DE CRISTAL DO FILME DE REVESTIMENTO CVD SIC

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC


Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade
Valor típico
Estrutura Cristalina
FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade do Revestimento
3,21g/cm³
Dureza do revestimento SiC
Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão
2~10μm
Pureza Química
99,99995%
Capacidade de calor
640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação
2700°C
Resistência Flexural
415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young
Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica
300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)
4,5×10-6K-1


Lojas de produtos de susceptor de barril de grafite revestido com SiC da VeTek Semiconductor


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