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Defletor de cadinho de grafite revestido de SiC
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Defletor de cadinho de grafite revestido de SiC

A VeTek Semiconductor tem muitos anos de experiência na produção de defletores de cadinho de grafite revestidos com SiC de alta qualidade. Temos laboratório próprio para pesquisa e desenvolvimento de materiais, podemos apoiar seus projetos personalizados com qualidade superior. convidamos você a visitar nossa fábrica para mais discussões.

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Descrição do produto

VeTek Semiconducotr é um fabricante e fornecedor profissional de defletor de cadinho de grafite revestido com SiC na China. O defletor de cadinho de grafite revestido com SiC é um componente crucial em equipamentos de forno monocristalino, encarregado de guiar suavemente o material fundido do cadinho para a zona de crescimento do cristal, garantindo a qualidade e a forma do crescimento monocristalino.


As funções do nosso defletor de cadinho de grafite revestido com SiC são:

Controle de Fluxo: Direciona o fluxo do silício fundido durante o processo Czochralski, garantindo distribuição uniforme e movimento controlado do silício fundido para promover o crescimento do cristal.

Regulação de Temperatura: Ajuda a regular a distribuição de temperatura dentro do silício fundido, garantindo condições ideais para o crescimento do cristal e minimizando gradientes de temperatura que podem afetar a qualidade do silício monocristalino.

Prevenção de Contaminação: Ao controlar o fluxo de silício fundido, ajuda a prevenir a contaminação do cadinho ou de outras fontes, mantendo a alta pureza necessária para aplicações de semicondutores.

Estabilidade: O defletor contribui para a estabilidade do processo de crescimento do cristal, reduzindo a turbulência e promovendo um fluxo constante de silício fundido, o que é crucial para obter propriedades cristalinas uniformes.

Facilitação do crescimento do cristal: Ao guiar o silício fundido de maneira controlada, o defletor facilita o crescimento de um único cristal a partir do silício fundido, o que é essencial para a produção de wafers de silício monocristalino de alta qualidade usados ​​na fabricação de semicondutores.


Parâmetro do produto do defletor do cadinho de grafite revestido de SiC

Propriedades físicas da grafite isostática
Propriedade Unidade Valor típico
Densidade aparente g/cm³ 1.83
Dureza HD 58
Resistividade elétrica mΩ.m 10
Resistência à Flexão MPa 47
Força compressiva MPa 103
Resistência à tracção MPa 31
Módulo de Young GPa 11.8
Expansão Térmica (CTE) 10-6K-1 4.6
Condutividade térmica W·m-1·K-1 130
Tamanho Médio de Grão μm 8-10
Porosidade % 10
Conteúdo de cinzas ppm ≤10 (depois de purificado)

Nota: Antes do revestimento, faremos a primeira purificação, após o revestimento, faremos a segunda purificação.


Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura de cristal FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade 3,21g/cm³
Dureza Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho de grão 2~10μm
Pureza Química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimação 2700°C
Resistência à Flexão 415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade térmica 300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE) 4,5×10-6K-1


Oficina de produção de semicondutores VeTek


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