VeTek Semiconductor é um fabricante e inovador líder de susceptor de panqueca revestido de SiC para wafers LPE PE3061S 6'' na China. Somos especializados em material de revestimento de SiC há muitos anos. . Este susceptor epitaxial apresenta alta resistência à corrosão, bom desempenho de condução de calor e boa uniformidade. Convidamos você a visitar nossa fábrica na China.
Como fabricante profissional, a VeTek Semiconductor gostaria de fornecer a você um susceptor de panqueca revestido com SiC de alta qualidade para wafers LPE PE3061S 6''.
O susceptor de panqueca revestido com SiC VeTeK Semiconductor para wafers LPE PE3061S de 6" é um equipamento crítico usado em processos de fabricação de semicondutores.
Estabilidade em altas temperaturas: O SiC apresenta excelente estabilidade em altas temperaturas, mantendo sua estrutura e desempenho em ambientes de alta temperatura.
Excelente condutividade térmica: o SiC possui uma condutividade térmica excepcional, permitindo uma transferência de calor rápida e uniforme para um aquecimento rápido e uniforme.
Resistência à corrosão: O SiC possui excelente estabilidade química, resistindo à corrosão e oxidação em diversos ambientes de aquecimento.
Distribuição uniforme de aquecimento: O transportador de wafer revestido com SiC fornece distribuição de aquecimento uniforme, garantindo temperatura uniforme em toda a superfície do wafer durante o aquecimento.
Adequado para produção de semicondutores: O transportador de wafer de epitaxia de Si é amplamente utilizado em processos de fabricação de semicondutores, particularmente para crescimento de epitaxia de Si e outros processos de aquecimento em alta temperatura.
Eficiência de produção aprimorada: O susceptor de panqueca revestido de SiC permite aquecimento rápido e uniforme, reduzindo o tempo de aquecimento e aumentando a eficiência da produção.
Qualidade do produto garantida: A distribuição uniforme do aquecimento garante consistência durante o processamento do wafer, levando a uma melhor qualidade do produto.
Vida útil prolongada do equipamento: o material SiC oferece excelente resistência ao calor e estabilidade química, contribuindo para uma vida útil mais longa do susceptor de panqueca.
Soluções personalizadas: O susceptor revestido de SiC e o transportador de wafer de epitaxia de Si podem ser adaptados para diferentes tamanhos e especificações com base nas necessidades do cliente.
Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC | |
Propriedade | Valor típico |
Estrutura Cristalina | FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111) |
Densidade | 3,21g/cm³ |
Dureza | Dureza Vickers 2500 (carga de 500g) |
Tamanho do grão | 2~10μm |
Pureza Química | 99,99995% |
Capacidade de calor | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura de Sublimação | 2700°C |
Resistência à Flexão | 415 MPa RT de 4 pontos |
Módulo de Young | Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
Condutividade Térmica | 300W·m-1·K-1 |
Expansão Térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |