Receptor Epi de revestimento SiC

VeTek Semiconductor é um fabricante líder, inovador e líder de produtos Epi Susceptor de Revestimento SiC na China. Por muitos anos, temos nos concentrado em vários produtos de revestimento de SiC, como Epi Susceptor de revestimento de SiC, transportador de wafer de revestimento de SiC, susceptor de revestimento de SiC, susceptor ALD de revestimento de SiC, etc. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para o semicondutor indústria. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Descrição do produto

Vetek Semiconductor é fabricante profissional na China de SiC Coating Epi Susceptor.

O Epi Susceptor de revestimento SiC da VeTek Semiconductor é feito de grafite e carboneto de silício. Este produto de revestimento SiC utiliza grafite importado, que tem desempenho mais estável e longa vida útil, e é altamente elogiado por nossos clientes europeus e americanos. Ao mesmo tempo, a concentração do susceptor SiC Coating Epi está abaixo de 5 ppm e a uniformidade é muito boa. Após contínuas atualizações tecnológicas, a VeTek Semiconductor utiliza um novo processo para formar uma boa combinação entre o coeficiente de expansão térmica do revestimento de SiC e dos materiais de grafite.

SiC Coating Epi Susceptor é especialmente usado em ambientes corrosivos e de alta temperatura em equipamentos semicondutores. O susceptor Epi de revestimento SiC é comumente usado em equipamentos como o AIXTRON, especialmente no processo de epitaxia ultravioleta profunda (DUV Epitaxy), desempenhando um papel fundamental.

No processo de epitaxia ultravioleta profunda (DUV Epitaxy), combinado com a excelente resistência a altas temperaturas e resistência à corrosão do SiC Coating Epi Susceptor, o SiC Coating Epi Susceptor é geralmente instalado ao redor da câmara de reação no equipamento AIXTRON como transportador durante o processo de epitaxia de danificar ou contaminar o equipamento.

Este susceptor Epi com revestimento de SiC foi projetado para epitaxia ultravioleta profunda. Controlamos rigorosamente o revestimento de carboneto de silício, incorporamos tecnologia de camada tampão para reduzir problemas causados por diferenças nos coeficientes de expansão térmica entre os revestimentos de grafite e carboneto de silício, prolongando assim a vida útil do produto. Atualmente, nosso produto tem recebido inúmeros elogios e é reconhecido como um dos melhores do mercado nacional.

Como líder do setor em produtos de revestimento de SiC, a VeTek Semiconductor oferece suporte a serviços de personalização de produtos e preços de produtos satisfatórios e aguarda sua consulta futura.