aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silício

Semicondutor VeTekO aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silício é um aquecedor projetado para ambientes agressivos e de alta temperatura. Ele reveste uma camada de revestimento cerâmico de carbono-silício (SiC) na superfície do elemento de aquecimento para dar ao equipamento excelente resistência ao calor, resistência à corrosão e condutividade térmica. 

Aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silícioé usado principalmente em equipamentos de revestimento a vácuo (evaporação). Os métodos comumente usados ​​são PCD (Secagem Química por Plasma) e PVD (Deposição Física de Vapor), que são amplamente utilizados na fabricação de semicondutores e outras aplicações industriais de alta demanda.

Combinado com o design de revestimento de alto desempenho do aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silício,pode fornecer uma excelente solução de aquecimento para processos de alta temperatura.

Excelente condutividade térmica: O material SiC possui excelente condutividade térmica, garantindo que o aquecedor possa obter distribuição uniforme de calor na área de trabalho e reduzir gradientes de temperatura.

Fornece distribuição uniforme de calor: O aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silício usa a alta condutividade térmica do material SiC para obter distribuição uniforme de temperatura em toda a área de aquecimento. Isto é fundamental para garantir o tratamento térmico uniforme de wafers semicondutores em vários processos de alta temperatura, como processamento térmico rápido (RTP), difusão e oxidação, evitando defeitos do produto causados ​​por superaquecimento local ou temperatura irregular.

Tolerância a altas temperaturas: O revestimento SiC permite que o aquecedor resista a temperaturas extremamente altas, normalmente até 1600°C, adequado para vários processos de processamento em alta temperatura.

Melhorar a resistência ao calor: Como o revestimento pode suportar temperaturas extremamente altas, ele tem um bom desempenho em processos que exigem operação prolongada em altas temperaturas. Por exemplo, em processos de deposição química de vapor (CVD), o aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silício pode garantir a operação estável a longo prazo do equipamento em altas temperaturas e manter um desempenho de aquecimento consistente, melhorando assim a repetibilidade e a confiabilidade do processo.

Resistência à corrosão química: O revestimento SiC possui resistência extremamente alta a gases ácidos, alcalinos e corrosivos, podendo permanecer estável por muito tempo em um ambiente de atmosfera química complexa, prolongando a vida útil do equipamento. 

Prolongando a vida útil do equipamento: O revestimento SiC tem excelente resistência à oxidação e à corrosão e pode resistir com eficácia à erosão química e à oxidação em altas temperaturas. Isto é muito crítico no processo de fabricação de semicondutores, especialmente em um ambiente que lida com gases e produtos químicos corrosivos. O efeito protetor do revestimento pode prolongar significativamente a vida útil do aquecedor e reduzir a frequência de substituição de equipamentos e custos de manutenção.

Propriedades físicas básicas do aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silício:

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