Aquecedor de grafite Hot Zone

Os aquecedores de grafite VeTek Semiconductor Hot Zone são projetados para lidar com as condições extremas encontradas em fornos de alta temperatura. Os aquecedores são capazes de resistir aos ambientes agressivos comumente encontrados no processamento de alta temperatura, dependendo das características específicas do produto listadas abaixo.

Distribuição uniforme de temperatura: O aquecedor de grafite Hot Zone é conhecido por suas excelentes características de aquecimento uniforme, graças à sua combinação perfeita de seleção de materiais de alta precisão e tecnologia de processamento de precisão. Essa uniformidade garante uma distribuição suave da temperatura em toda a superfície de aquecimento, reduzindo efetivamente o processamento irregular do wafer devido aos gradientes térmicos, melhorando assim o rendimento do produto e a consistência do desempenho do equipamento.

Excelente resistência à corrosão: o aquecedor de grafite para Hot Zone apresenta forte resistência a vários gases corrosivos e produtos químicos encontrados em processos de fabricação de semicondutores em alta temperatura. A inércia natural dos materiais de grafite permite que os aquecedores de grafite mantenham a estabilidade a longo prazo em ambientes agressivos, reduzindo significativamente o risco de contaminação e prolongando a vida útil do equipamento.

Excelente desempenho antioxidante: Comparado com materiais de grafite tradicionais, o aquecedor de grafite Hot Zone ainda possui excelente capacidade antioxidação em altas temperaturas. Esta característica é crucial para evitar a deterioração oxidativa da superfície do aquecedor durante o processamento em alta temperatura e evitar a geração de contaminação por partículas na câmara de processamento, garantindo a operação eficiente e contínua do equipamento.

Pureza química ultra-alta: Após processamento rigoroso, nosso aquecedor de grafite atingiu um nível extremamente alto de pureza química, evitando efetivamente a introdução de impurezas prejudiciais no ambiente de processamento de semicondutores. Essa pureza é crítica para proteger a integridade de materiais semicondutores de precisão e produzir dispositivos que atendam às propriedades elétricas e ópticas esperadas.

Alta resistência mecânica e estabilidade: O aquecedor de grafite Hot Zone da VeTekSemi possui excelente resistência mecânica e estabilidade dimensional, mantendo a integridade estrutural mesmo sob condições operacionais de alta temperatura. Seja enfrentando ciclos térmicos frequentes ou estresse mecânico pesado, os aquecedores de grafite para Hot Zone mantêm sua robustez e fornecem suporte sólido e confiável para ambientes severos de processamento de semicondutores.

Além disso, a VeTeksemi também oferece uma variedade de tamanhos e configurações personalizadas de aquecedores de grafite para atender às necessidades de diferentes processos de fabricação de semicondutores. comografite de revestimento cerâmico sicaquecedor、Aquecedor VEECO MOCVD, etc.  A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e personalizável e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Esperamos sinceramente ser seu parceiro de longo prazo na China.