Revestimento cerâmico de carboneto de silício

Semicondutores Vetek Revestimento cerâmico de carboneto de silícioé um revestimento protetor de alto desempenho feito de material de carboneto de silício (SiC) extremamente duro e resistente ao desgaste, que oferece excelente resistência à corrosão química e estabilidade em altas temperaturas. Essas propriedades são cruciais na produção de semicondutores, portanto o revestimento cerâmico de carboneto de silício é amplamente utilizado em componentes-chave de equipamentos de fabricação de semicondutores.

O papel específico desempenhado pelo revestimento cerâmico de carboneto de silício Vetek Semiconductor na produção de semicondutores édo seguinte modo:

Aumente a durabilidade do equipamento: O revestimento cerâmico de carboneto de silício fornece excelente proteção de superfície para equipamentos de fabricação de semicondutores com sua dureza e resistência ao desgaste extremamente altas. Especialmente em ambientes de processo altamente corrosivos e de alta temperatura, como deposição química de vapor (CVD) e gravação por plasma, o revestimento cerâmico de carboneto de silício pode prevenir eficazmente danos à superfície do equipamento devido à erosão química ou desgaste físico, prolongando significativamente a vida útil do o equipamento e reduzindo o tempo de inatividade causado por substituições e manutenções frequentes.

Melhore a pureza do processo: No processo de fabricação de semicondutores, qualquer pequena contaminação pode causar defeitos no produto. A inércia química do revestimento cerâmico de carboneto de silício permite que ele permaneça estável sob condições extremas, evita que o material libere partículas ou impurezas e garante a pureza do ambiente durante o processo. Isto é especialmente importante para etapas de fabricação que exigem alta precisão e alta limpeza, como PECVD e implantação iônica.

Otimize o gerenciamento térmico: No processamento de semicondutores em alta temperatura, como processamento térmico rápido (RTP) e processos de oxidação, a alta condutividade térmica do revestimento cerâmico de carboneto de silício permite uma distribuição uniforme de temperatura dentro do equipamento. Isso ajuda a reduzir o estresse térmico e a deformação do material causada pelas flutuações de temperatura, melhorando assim a precisão e a consistência da fabricação do produto.

Suporta ambiente de processos complexos: Em processos que exigem controle de atmosfera complexo, como processos de gravação ICP e gravação PSS, a estabilidade e resistência à oxidação do aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silício garantem o desempenho estável do equipamento em operação de longo prazo, reduzindo o risco de degradação do material ou equipamento danos devido a mudanças ambientais.

Semicondutores Vetekse concentra na fabricação e fornecimento de alto desempenhoRevestimento cerâmico de carboneto de silícioe está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores.Esperamos sinceramente ser seu parceiro de longo prazo na China.

Propriedades físicas básicas deRevestimento cerâmico de carboneto de silício:

Lojas de revestimento cerâmico de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: