VeTek Semiconductor é seu parceiro inovador na área de processamento de semicondutores. Com nosso extenso portfólio de combinações de materiais de cerâmica de carboneto de silício de grau semicondutor, recursos de fabricação de componentes e serviços de engenharia de aplicação, podemos ajudá-lo a superar desafios significativos. As cerâmicas técnicas de engenharia de carboneto de silício são amplamente aplicadas na indústria de semicondutores devido ao seu excepcional desempenho de material. A cerâmica de carboneto de silício ultrapura da VeTek Semiconductor é frequentemente usada em todo o ciclo de fabricação e processamento de semicondutores.
A VeTek Semiconductor fornece componentes cerâmicos projetados especificamente para difusão em lote e requisitos de LPCVD, incluindo:
• Defletores e suportes
• Injetores
• Revestimentos e tubos de processo
• Pás cantilever de carboneto de silício
• Barcos wafer e pedestais
Remo Cantilever SiC Tubos de Processo SiC Tubo de processo de carboneto de silício Barco wafer vertical SiC Barco de wafer horizontal SiC Barco de wafer quare horizontal SiC Barco wafer SiC LPCVD Barco de placa horizontal SiC Barco wafer redondo SiC
Minimize a contaminação e a manutenção não programada com componentes de alta pureza projetados para os rigores do processamento de gravação a plasma, incluindo:
Anéis de foco
Bicos
Escudos
Chuveiros
Janelas / tampas
Outros componentes personalizados
A VeTek Semiconductor fornece componentes de materiais avançados adaptados para aplicações de processamento térmico de alta temperatura na indústria de semicondutores. Essas aplicações abrangem RTP, processos Epi, difusão, oxidação e recozimento. Nossas cerâmicas técnicas são projetadas para resistir a choques térmicos, proporcionando desempenho confiável e consistente. Com os componentes da VeTek Semiconductor, os fabricantes de semicondutores podem obter processamento térmico eficiente e de alta qualidade, contribuindo para o sucesso geral da produção de semicondutores.
• Difusores
• Isoladores
• Susceptores
• Outros componentes térmicos personalizados
Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado | |
Propriedade | Valor típico |
Temperatura de trabalho (°C) | 1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente) |
Conteúdo SiC/SiC | > 99,96% |
Conteúdo Si / Si grátis | <0,1% |
Densidade aparente | 2,60-2,70g/cm3 |
Porosidade aparente | <16% |
Força de compressão | > 600MPa |
Resistência à flexão a frio | 80-90MPa (20°C) |
Resistência à flexão a quente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansão térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Condutividade térmica @1200°C | 23 W/m·K |
Módulo elástico | 240 GPa |
Resistência ao choque térmico | Extremamente bom |
VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de remo cantilever SiC de alta pureza na China. As pás cantilever de SiC de alta pureza são comumente usadas em fornos de difusão de semicondutores como transferência de wafer ou plataformas de carregamento. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaComo um fabricante e fornecedor profissional de barco e pedestal de wafer de coluna vertical na China, o barco e pedestal de wafer de coluna vertical da Vetek Semiconductor é feito de materiais de quartzo de alta pureza ou cerâmica de silício-carbono (SiC), com excelente resistência a altas temperaturas, estabilidade química e resistência mecânica , e é um componente central indispensável no processo de fabricação de semicondutores. Bem-vindo à sua consulta adicional.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat é um equipamento avançado para processamento de semicondutores. A estrutura do produto do Contiguous Wafer Boat é cuidadosamente projetada para garantir processamento e produção eficientes de wafers de precisão. A Vetek Semiconductor está comprometida em fornecer excelentes soluções tecnológicas e de produtos para a indústria de semicondutores. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaVeTek Semiconductor é um fabricante chinês profissional de wafer isolador de silício, base planetária ALD e base de grafite revestida com TaC. O Wafer Silicon On Insulator da VeTek Semiconductor é um importante material de substrato semicondutor e suas excelentes características de produto fazem com que ele desempenhe um papel fundamental em aplicações de alto desempenho, baixo consumo de energia, alta integração e RF. Estamos ansiosos para uma maior cooperação com você.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaVeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional de anel guia revestido com TaC, transportador de wafer horizontal de SiC e susceptores revestidos de SiC na China. Estamos comprometidos em fornecer suporte técnico perfeito e soluções de produtos de última geração para a indústria de semicondutores. Bem-vindo a entrar em contato conosco.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO SiC Wafer Boat da VeTek Semiconductor é um produto de altíssimo desempenho. Nosso SiC Wafer Boat é geralmente usado em fornos de difusão de oxidação de semicondutores para garantir que a temperatura seja distribuída uniformemente no wafer e melhorar a qualidade de processamento do wafer de silício. A estabilidade em altas temperaturas e a alta condutividade térmica dos materiais SiC garantem um processamento eficiente e confiável de semicondutores. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.
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