Barco de wafer SiC

O SiC Wafer Boat da VeTek Semiconductor é um produto de altíssimo desempenho. Nosso SiC Wafer Boat é geralmente usado em fornos de difusão de oxidação de semicondutores para garantir que a temperatura seja distribuída uniformemente no wafer e melhorar a qualidade de processamento do wafer de silício. A estabilidade em altas temperaturas e a alta condutividade térmica dos materiais SiC garantem um processamento eficiente e confiável de semicondutores. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

A seguir está a introdução do SiC Wafer Boat de alta qualidade da VeTek Semiconductor, na esperança de ajudá-lo a entender melhor o SiC Wafer Boat. Bem-vindos, novos e antigos clientes, para continuar a cooperar conosco para criar um futuro melhor!

Visão geral da aplicação do barco SiC Wafer:

Os barcos de wafer quadrados horizontais de SiC servem como componentes críticos em processos de difusão de alta temperatura, funcionando como suportes de wafer. Esses barcos desempenham um papel vital no manuseio seguro e eficiente de wafers delicados durante o processamento.

Requisitos de recursos do barco SiC Wafer:

Resistência a altas temperaturas: O barco deve demonstrar resistência excepcional em altas temperaturas para suportar os ambientes agressivos do processamento em altas temperaturas.

Estabilidade química em altas temperaturas: Manter a integridade estrutural e a composição química sob condições extremas de alta temperatura garante a pureza do processo.

Desempenho livre de partículas: O barco deve estar livre de geração de partículas ou contaminação para salvaguardar a qualidade dos wafers processados.

Por que escolher o SiC Wafer Boat da Vetek Semiconductor?

Especificações versáteis: A Vetek Semiconductor oferece uma variedade de especificações padrão e fornece serviços personalizados para atender a requisitos específicos.

Qualidade e Velocidade: A Vetek Semiconductor garante produtos de alta qualidade e entrega rápida, atendendo às demandas de indústrias de ritmo acelerado.

Experiência em materiais: O aproveitamento do material denso de carboneto de silício recristalizado garante desempenho superior e longevidade dos barcos.

Limite de alta temperatura: Os barcos Vetek Semiconductor apresentam uma temperatura operacional máxima de 1600°C, adequada para os processos de alta temperatura mais exigentes.

Custo-benefício: Os barcos Vetek Semiconductor oferecem uma relação custo-desempenho altamente competitiva, agregando valor ao dinheiro.

Durabilidade: Com longa vida útil, os barcos Vetek Semiconductor proporcionam confiabilidade e consistência nos processos de manuseio de wafers.

A Vetek Semiconductor se destaca no mercado por seu compromisso com a qualidade, opções de personalização, inovação de materiais, capacidades de alta temperatura, economia e longevidade, tornando-a a escolha preferida para fabricantes de semicondutores em todo o mundo.

Parâmetro do produto do SiC Wafer Boat:

Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado
Propriedade	Valor típico
Temperatura de trabalho (°C)	1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente)
Conteúdo de SiC	> 99,96%
Conteúdo Si grátis	<0,1%
Densidade aparente	2,60-2,70g/cm3
Porosidade aparente	<16%
Força de compressão	> 600MPa
Resistência à flexão a frio	80-90MPa (20°C)
Resistência à flexão a quente	90-100MPa (1400°C)
Expansão térmica @1500°C	4,70 10-6/°C
Condutividade térmica @1200°C	23 W/m·K
Módulo elástico	240 GPa
Resistência ao choque térmico	Extremamente bom