Transportador horizontal de wafer SiC

VeTek SemicondutoresTransportador horizontal de wafer SiC/O barco tem um ponto de fusão extremamente alto (cerca de 2700°C), o que permite aTransportador horizontal de wafer SiC/Barco para trabalhar de forma estável em ambientes de alta temperatura sem deformação ou degradação. Esta característica é particularmente importante no processo de fabricação de semicondutores, especialmente em processos como recozimento em alta temperatura ou deposição química de vapor (CVD).

OTransportador horizontal de wafer SiC/Barco desempenha especificamente as seguintes funções no processo de transporte de transportadores de wafer:

Transporte e suporte de wafer de silício: O barco horizontal de wafer SiC é usado principalmente para transportar e suportar wafers de silício durante a fabricação de semicondutores. Ele pode organizar firmemente vários wafers de silício para garantir que permaneçam em boa posição e estabilidade durante todo o processo de processamento.

Aquecimento e resfriamento uniformes: Devido à alta condutividade térmica do SiC, o Wafer Boat pode distribuir o calor de maneira eficaz e uniforme para todos os wafers de silício. Isso ajuda a obter aquecimento ou resfriamento uniforme de wafers de silício durante o processamento em alta temperatura, garantindo consistência e confiabilidade do processo de processamento.

Evitar contaminação: A estabilidade química do SiC permite que ele tenha um bom desempenho em ambientes de alta temperatura e gases corrosivos, reduzindo assim a exposição das pastilhas de silício a possíveis contaminantes ou reagentes, garantindo a pureza e a qualidade das pastilhas de silício.

Na verdade, o Barco Wafer Horizontal SiC pode desempenhar o papel acima devido às suas características únicas de produto:

Excelente estabilidade química: O material SiC tem excelente resistência à corrosão em uma variedade de meios químicos. No processo de processamento de gases ou líquidos corrosivos, o SiC Wafer Boat pode resistir eficazmente à corrosão química e proteger os wafers de silício contra contaminação ou danos.

Alta condutividade térmica: A alta condutividade térmica do SiC ajuda a distribuir uniformemente o calor no processo de transporte e a reduzir o acúmulo de calor. Isso pode melhorar a precisão do controle de temperatura durante o processamento de precisão e garantir aquecimento ou resfriamento uniforme de wafers de silício.

Baixo coeficiente de expansão térmica: O baixo coeficiente de expansão térmica do material SiC significa que a mudança dimensional do SiC Wafer Boat é muito pequena durante as mudanças de temperatura. Isso ajuda a manter a estabilidade dimensional durante o processamento em alta temperatura e evita a deformação ou deslocamento posicional dos wafers de silício causados ​​pela expansão térmica.

Propriedades físicas básicas do transportador horizontal de wafer SiC:

Oficina de produção de semicondutores VeTek:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: