VeTek Semiconductor é seu parceiro inovador na área de processamento de semicondutores. Com nosso extenso portfólio de combinações de materiais de cerâmica de carboneto de silício de grau semicondutor, recursos de fabricação de componentes e serviços de engenharia de aplicação, podemos ajudá-lo a superar desafios significativos. As cerâmicas técnicas de engenharia de carboneto de silício são amplamente aplicadas na indústria de semicondutores devido ao seu excepcional desempenho de material. A cerâmica de carboneto de silício ultrapura da VeTek Semiconductor é frequentemente usada em todo o ciclo de fabricação e processamento de semicondutores.
A VeTek Semiconductor fornece componentes cerâmicos projetados especificamente para difusão em lote e requisitos de LPCVD, incluindo:
• Defletores e suportes
• Injetores
• Revestimentos e tubos de processo
• Pás cantilever de carboneto de silício
• Barcos wafer e pedestais
Remo Cantilever SiC Tubos de Processo SiC Tubo de processo de carboneto de silício Barco wafer vertical SiC Barco de wafer horizontal SiC Barco de wafer quare horizontal SiC Barco wafer SiC LPCVD Barco de placa horizontal SiC Barco wafer redondo SiC
Minimize a contaminação e a manutenção não programada com componentes de alta pureza projetados para os rigores do processamento de gravação a plasma, incluindo:
Anéis de foco
Bicos
Escudos
Chuveiros
Janelas / tampas
Outros componentes personalizados
A VeTek Semiconductor fornece componentes de materiais avançados adaptados para aplicações de processamento térmico de alta temperatura na indústria de semicondutores. Essas aplicações abrangem RTP, processos Epi, difusão, oxidação e recozimento. Nossas cerâmicas técnicas são projetadas para resistir a choques térmicos, proporcionando desempenho confiável e consistente. Com os componentes da VeTek Semiconductor, os fabricantes de semicondutores podem obter processamento térmico eficiente e de alta qualidade, contribuindo para o sucesso geral da produção de semicondutores.
• Difusores
• Isoladores
• Susceptores
• Outros componentes térmicos personalizados
Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado | |
Propriedade | Valor típico |
Temperatura de trabalho (°C) | 1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente) |
Conteúdo SiC/SiC | > 99,96% |
Conteúdo Si / Si grátis | <0,1% |
Densidade aparente | 2,60-2,70g/cm3 |
Porosidade aparente | <16% |
Força de compressão | > 600MPa |
Resistência à flexão a frio | 80-90MPa (20°C) |
Resistência à flexão a quente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansão térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Condutividade térmica @1200°C | 23 W/m·K |
Módulo elástico | 240 GPa |
Resistência ao choque térmico | Extremamente bom |
O barco wafer de carboneto de silício de alta pureza da VeTek Semiconductor é feito de material de carboneto de silício extremamente puro com excelente estabilidade térmica, resistência mecânica e resistência química. O barco wafer de carboneto de silício de alta pureza é usado em aplicações de zona quente na fabricação de semicondutores, especialmente em ambientes de alta temperatura, e desempenha um papel importante na proteção de wafers, transporte de materiais e manutenção de processos estáveis. A VeTek Semiconductor continuará a trabalhar duro para inovar e melhorar o desempenho do barco wafer de carboneto de silício de alta pureza para atender às necessidades crescentes da fabricação de semicondutores. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaVeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional, dedicado a fornecer pó de carboneto de silício ultra puro de alta qualidade para crescimento de cristais. Com uma pureza de até 99,999% em peso e níveis extremamente baixos de impurezas de nitrogênio, boro, alumínio e outros contaminantes, ele foi projetado especificamente para aprimorar as propriedades semi-isolantes do carboneto de silício de alta pureza. Bem-vindo a perguntar e cooperar conosco!
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