China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Reator LPE Halfmoon SiC EPI

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional de produtos LPE Halfmoon SiC EPI Reactor, inovador e líder na China. O reator LPE Halfmoon SiC EPI é um dispositivo projetado especificamente para a produção de camadas epitaxiais de carboneto de silício (SiC) de alta qualidade, usadas principalmente na indústria de semicondutores. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia de ponta e soluções de produtos para a indústria de semicondutores e agradece suas dúvidas.

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Receptor Aixtron MOCVD

Como fabricante e fornecedor profissional de susceptor Aixtron MOCVD na China, o susceptor Aixtron MOCVD da Vetek Semiconductor é amplamente utilizado no processo de deposição de filme fino de produção de semicondutores, especialmente envolvendo o processo MOCVD. A Vetek Semiconductor se concentra na fabricação e fornecimento de produtos Aixtron MOCVD Susceptor de alto desempenho. Dê boas-vindas ao seu inquérito.

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aquecedor de grafite com revestimento cerâmico de carboneto de silício

Como um fabricante e fornecedor profissional de aquecedor de grafite com revestimento cerâmico de carboneto de silício na China, o Aquecedor de grafite com revestimento cerâmico de carboneto de silício é um aquecedor de alto desempenho feito de substrato de grafite e revestido com revestimento de cerâmica de silício-carbono (SiC) em sua superfície. Com seu design de material compósito, este produto oferece excelentes soluções de aquecimento na fabricação de semicondutores. Dê boas-vindas ao seu inquérito.

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aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silício

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional de aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silício na China. O aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silício é projetado principalmente para altas temperaturas e ambientes adversos de fabricação de semicondutores. Seu ponto de fusão ultra-alto, excelente resistência à corrosão e excelente condutividade térmica determinam a indispensabilidade deste produto no processo de produção de semicondutores. Esperamos sinceramente estabelecer um relacionamento comercial de longo prazo com você.

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Revestimento cerâmico de carboneto de silício

Como fabricante e fornecedor profissional de revestimento cerâmico de carboneto de silício na China, o revestimento cerâmico de carboneto de silício da Vetek Semiconductor é amplamente utilizado em componentes-chave de equipamentos de fabricação de semicondutores, especialmente quando processos CVD e PECVD estão envolvidos. Dê boas-vindas ao seu inquérito.

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Destinatário do EPI

O susceptor EPI da VeTek Semiconductor foi projetado para aplicações exigentes de equipamentos epitaxiais. Sua estrutura de grafite revestida com carboneto de silício (SiC) de alta pureza oferece excelente resistência ao calor, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epitaxial e resistência química duradoura. Estamos ansiosos para cooperar com você.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.