China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Pedestal revestido de SiC

A Vetek Semiconductor é profissional na fabricação de revestimento CVD SiC, revestimento TaC em grafite e material de carboneto de silício. Fornecemos produtos OEM e ODM como pedestal revestido de SiC, transportador de wafer, mandril de wafer, bandeja de transportador de wafer, disco planetário e assim por diante. Com sala limpa de grau 1000 e dispositivo de purificação, podemos fornecer produtos com impureza abaixo de 5 ppm. de você em breve.

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Anel de entrada de revestimento SiC

A Vetek Semiconductor se destaca na colaboração estreita com os clientes para criar projetos sob medida para o anel de entrada de revestimento de SiC, adaptados às necessidades específicas. Este anel de entrada de revestimento SiC são meticulosamente projetados para diversas aplicações, como equipamentos CVD SiC e epitaxia de carboneto de silício. Para soluções personalizadas de anel de entrada de revestimento de SiC, não hesite em entrar em contato com a Vetek Semiconductor para obter assistência personalizada.

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Anel de suporte revestido de SiC

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional na China, produzindo principalmente anéis de suporte revestidos de SiC, revestimentos de carboneto de silício CVD (SiC), revestimentos de carboneto de tântalo (TaC), SiC a granel, pós de SiC e materiais de SiC de alta pureza. Estamos empenhados em fornecer suporte técnico perfeito e soluções de produtos definitivas para a indústria de semicondutores. Entre em contato conosco.

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Mandril de bolacha

O mandril wafer da Vetek Semiconductor desempenha um papel fundamental na produção de semicondutores, permitindo uma produção rápida e de alta qualidade. Com fabricação interna, preços competitivos e suporte robusto de P&D, a Vetek Semiconductor se destaca em serviços OEM/ODM para componentes de precisão.

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Susceptor Planetário ALD

Processo ALD significa processo Epitaxia da Camada Atômica. Os fabricantes de semicondutores e sistemas ALD da Vetek desenvolveram e produziram susceptores planetários ALD revestidos com SiC que atendem aos altos requisitos do processo ALD para distribuir uniformemente o fluxo de ar sobre o substrato. Ao mesmo tempo, o revestimento CVD SiC de alta pureza da Vetek Semiconductor garante pureza no processo. Bem-vindo para discutir a cooperação conosco.

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Susceptor de revestimento SiC

A Vetek Semiconductor concentra-se na pesquisa, desenvolvimento e industrialização de revestimento CVD SiC e revestimento CVD TaC. Tomando o susceptor de revestimento SiC como exemplo, o produto é altamente processado com alta precisão, revestimento CVD SIC denso, resistência a altas temperaturas e forte resistência à corrosão. Uma investigação sobre nós é bem-vinda.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.