China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Mandril de wafer de carboneto de silício

Como fabricante e fornecedor líder de produtos de mandril de wafer de carboneto de silício na China, o mandril de wafer de carboneto de silício da VeTek Semiconductor desempenha um papel insubstituível no processo de crescimento epitaxial com sua excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão química e resistência ao choque térmico. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Cabeça de chuveiro de carboneto de silício

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor líder de produtos para chuveiros de carboneto de silício na China. O chuveiro SiC tem excelente tolerância a altas temperaturas, estabilidade química, condutividade térmica e bom desempenho de distribuição de gás, o que pode alcançar distribuição uniforme de gás e melhorar a qualidade do filme. Portanto, é geralmente usado em processos de alta temperatura, como processos de deposição química de vapor (CVD) ou deposição física de vapor (PVD). Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Anel de vedação de carboneto de silício

Como fabricante e fábrica profissional de produtos de anel de vedação de carboneto de silício na China, o anel de vedação de carboneto de silício VeTek Semiconductor é amplamente utilizado em equipamentos de processamento de semicondutores devido à sua excelente resistência ao calor, resistência à corrosão, resistência mecânica e condutividade térmica. É especialmente adequado para processos que envolvem gases reativos e de alta temperatura, como CVD, PVD e gravação por plasma, e é uma escolha de material chave no processo de fabricação de semicondutores. Suas perguntas adicionais são bem-vindas.

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Suporte para wafer revestido de SiC

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional e líder de produtos de suporte de wafer revestidos de SiC na China. O suporte de wafer revestido de SiC é um suporte de wafer para o processo de epitaxia no processamento de semicondutores. É um dispositivo insubstituível que estabiliza o wafer e garante o crescimento uniforme da camada epitaxial. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Porta-wafer Epi

VeTek Semiconductor é um fabricante e fábrica profissional de Suporte para Epi Wafer na China. Epi Wafer Holder é um suporte de wafer para o processo de epitaxia no processamento de semicondutores. É uma ferramenta fundamental para estabilizar o wafer e garantir o crescimento uniforme da camada epitaxial. É amplamente utilizado em equipamentos de epitaxia, como MOCVD e LPCVD. É um dispositivo insubstituível no processo de epitaxia. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Porta-wafers Satélite Aixtron

Como fabricante profissional e inovador de produtos Aixtron Satellite Wafer Carrier na China, o Aixtron Satellite Wafer Carrier da VeTek Semiconductor é um transportador de wafer usado em equipamentos AIXTRON, usado principalmente em processos MOCVD no processamento de semicondutores, e é particularmente adequado para alta temperatura e alta precisão processos de processamento de semicondutores. O transportador pode fornecer suporte estável de wafer e deposição uniforme de filme durante o crescimento epitaxial do MOCVD, o que é essencial para o processo de deposição de camadas. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.