China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Anel de grafite de alta pureza

O anel de grafite de alta pureza é adequado para processos de crescimento epitaxial de GaN. Sua excelente estabilidade e desempenho superior os tornaram amplamente utilizados. A VeTek Semiconductor produz e fabrica anel de grafite de alta pureza líder mundial para ajudar a indústria de epitaxia GaN a continuar a progredir. A VeTekSemi espera se tornar seu parceiro na China.

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Susceptor de panqueca CVD SiC

Como fabricante líder e inovador de produtos CVD SiC Pancake Susceptor na China. O susceptor de panqueca VeTek Semiconductor CVD SiC, como um componente em forma de disco projetado para equipamentos semicondutores, é um elemento-chave para suportar wafers semicondutores finos durante a deposição epitaxial em alta temperatura. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer produtos SiC Pancake Susceptor de alta qualidade e em se tornar seu parceiro de longo prazo na China a preços competitivos.

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Susceptor de grafite revestido de SiC para MOCVD

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor líder de susceptor de grafite revestido de SiC para MOCVD na China, especializado em aplicações de revestimento de SiC e produtos semicondutores epitaxiais para a indústria de semicondutores. Nossos susceptores de grafite revestidos com SiC MOCVD oferecem qualidade e preços competitivos, atendendo mercados em toda a Europa e América. Temos o compromisso de nos tornar seu parceiro confiável e de longo prazo no avanço da fabricação de semicondutores.

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Susceptor de epitaxia com revestimento CVD SiC

O susceptor de epitaxia de revestimento CVD SiC da VeTek Semiconductor é uma ferramenta de engenharia de precisão projetada para manuseio e processamento de wafers semicondutores. Este susceptor de epitaxia de revestimento de SiC desempenha um papel vital na promoção do crescimento de filmes finos, epicamadas e outros revestimentos, e pode controlar com precisão a temperatura e as propriedades do material. Dê boas-vindas a suas perguntas adicionais.

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Anel de revestimento CVD SiC

O anel de revestimento CVD SiC é uma das partes importantes das peças em meia-lua. Juntamente com outras partes, forma a câmara de reação de crescimento epitaxial de SiC. VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional de anéis de revestimento CVD SiC. De acordo com os requisitos de projeto do cliente, podemos fornecer o anel de revestimento CVD SiC correspondente ao preço mais competitivo. A VeTek Semiconductor espera se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Susceptor de barril revestido de CVD SiC

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de susceptor de barril revestido de SiC CVD na China. Nosso susceptor de barril revestido de SiC CVD desempenha um papel fundamental na promoção do crescimento epitaxial de materiais semicondutores em wafers com suas excelentes características de produto. Bem-vindo à sua consulta adicional.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.