Susceptores MOCVD Aixtron G5

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de susceptores Aixtron G5 MOCVD na China. Somos especializados em material de revestimento SiC há muitos anos. Oferecemos susceptores Aixtron G5 MOCVD projetados especificamente para o reator Aixtron G5 MOCVD. Este kit de susceptores Aixtron G5 MOCVD é uma solução versátil e eficiente para a fabricação de semicondutores com seu tamanho ideal, compatibilidade e alta produtividade.

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Descrição do produto

Como fabricante profissional, a VeTek Semiconductor gostaria de fornecer susceptores Aixtron G5 MOCVD como peças de grafite revestidas com SiC, peças de grafite revestidas com TaC, SiC sólido / CVD SiC, peças de quartzo.

Aixtron G5 é um sistema de deposição para semicondutores compostos. O AIX G5 MOCVD usa uma plataforma de reator planetário AIXTRON comprovada pelo cliente de produção com um sistema de transferência de wafer de cartucho totalmente automatizado (C2C). Atingiu o maior tamanho de cavidade única do setor (8 x 6 polegadas) e a maior capacidade de produção. Ele oferece configurações flexíveis de 6 e 4 polegadas projetadas para minimizar os custos de produção e, ao mesmo tempo, manter a excelente qualidade do produto. O sistema CVD planetário de parede quente é caracterizado pelo crescimento de múltiplas placas em um único forno e a eficiência de produção é alta. A VeTek Semiconductor oferece um conjunto completo de acessórios para o sistema Aixtron G5 MOCVD. Os susceptores Aixtron G5 MOCVD consistem nestes acessórios:

Peça de impulso, anti-rotação	Anel de Distribuição	Teto	Suporte, Teto, Isolado	Placa de cobertura, externa
Placa de cobertura, interna	Anel de cobertura	Disco	Disco de cobertura suspenso	Alfinete
Arruela de pinos	Disco Planetário	Folga do anel de entrada do coletor	Coletor de exaustão superior	Obturador
Anel de Apoio	Tubo de suporte

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Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura de cristal	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho de grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimação	2700°C
Resistência à Flexão	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1