China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Susceptor de revestimento MOCVD SiC

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor líder de susceptores de revestimento de SiC MOCVD na China, com foco em P&D e produção de produtos de revestimento de SiC por muitos anos. Nossos susceptores de revestimento MOCVD SiC têm excelente tolerância a altas temperaturas, boa condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, desempenhando um papel fundamental no suporte e aquecimento de wafers de silício ou carboneto de silício (SiC) e deposição uniforme de gás. Bem-vindo a consultar mais.

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Peças de grafite meia-lua com revestimento SiC

Como fabricante e fornecedor profissional de semicondutores, a VeTek Semiconductor pode fornecer uma variedade de componentes de grafite necessários para sistemas de crescimento epitaxial de SiC. Essas peças de grafite meia-lua com revestimento de SiC são projetadas para a seção de entrada de gás do reator epitaxial e desempenham um papel vital na otimização do processo de fabricação de semicondutores. A VeTek Semiconductor sempre se esforça para oferecer aos clientes produtos da melhor qualidade a preços mais competitivos. A VeTek Semiconductor espera se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Aquecedor de grafite Hot Zone

O aquecedor de grafite VeTek Semiconductor Hot Zone foi projetado para lidar com condições extremas em fornos de alta temperatura e manter excelente desempenho e estabilidade em processos complexos, como deposição química de vapor (CVD), crescimento epitaxial e recozimento em alta temperatura. A VeTekSemi sempre se concentra em produzir e fornecer aquecedores de grafite Hot Zone de alta qualidade para garantir a melhor relação custo-benefício para os clientes. Sinceramente convidamos você a entrar em contato conosco.

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Aquecedor VEECO MOCVD

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor líder de produtos de aquecedor VEECO MOCVD na China. O aquecedor MOCVD possui excelente pureza química, estabilidade térmica e resistência à corrosão. É um produto indispensável no processo de deposição de vapor químico orgânico metálico (MOCVD). Bem-vindo às suas perguntas adicionais.

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Receptor VEECO MOCVD

Como fabricante e fornecedor líder de produtos VEECO MOCVD Susceptor na China, o Susceptor MOCVD da VeTek Semiconductor representa o auge da inovação e excelência em engenharia, especialmente personalizado para atender aos requisitos complexos dos processos contemporâneos de fabricação de semicondutores. Dê boas-vindas a suas perguntas adicionais.

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Peça de vedação SiC

Como um fabricante e fábrica avançado de peças de vedação de SiC na China. A peça de vedação VeTek Semiconducto SiC é um componente de vedação de alto desempenho amplamente utilizado no processamento de semicondutores e outros processos extremos de alta temperatura e alta pressão. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.