China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Saia revestida CVD SiC

VeTek Semiconductor é um fabricante líder, inovador e líder de revestimento CVD SiC e revestimento TAC na China. Por muitos anos, temos nos concentrado em vários produtos de revestimento CVD SiC, como saia revestida CVD SiC, anel de revestimento CVD SiC, transportador de revestimento CVD SiC, etc. A VeTek Semiconductor oferece suporte a serviços de produtos personalizados e preços de produtos satisfatórios, e aguarda com expectativa o seu futuro consulta.

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Susceptor UV LED Epi

Como fabricante e líder chinês de produtos semicondutores, a VeTek Semiconductor tem se concentrado em vários tipos de produtos suceptores, como susceptor UV LED Epi, susceptor epitaxial LED UV profundo, susceptor de revestimento SiC, susceptor MOCVD, etc. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores e esperamos sinceramente nos tornar seu parceiro na China.

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Defletor de revestimento CVD SiC

O defletor de revestimento CVD SiC da Vetek Semiconductor é usado principalmente em Si Epitaxy. Geralmente é usado com barris de extensão de silício. Ele combina a alta temperatura e a estabilidade exclusivas do defletor de revestimento CVD SiC, o que melhora muito a distribuição uniforme do fluxo de ar na fabricação de semicondutores. Acreditamos que nossos produtos podem trazer a você tecnologia avançada e soluções de produtos de alta qualidade.

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Cilindro de grafite CVD SiC

O cilindro de grafite CVD SiC da Vetek Semiconductor é fundamental em equipamentos semicondutores, servindo como um escudo protetor dentro de reatores para proteger componentes internos em configurações de alta temperatura e pressão. Ele protege eficazmente contra produtos químicos e calor extremo, preservando a integridade do equipamento. Com excepcional resistência ao desgaste e à corrosão, garante longevidade e estabilidade em ambientes desafiadores. A utilização dessas coberturas melhora o desempenho do dispositivo semicondutor, prolonga a vida útil e mitiga os requisitos de manutenção e riscos de danos.

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Bocal de revestimento CVD SiC

Os bicos de revestimento CVD SiC da Vetek Semiconductor são componentes cruciais usados no processo de epitaxia LPE SiC para depositar materiais de carboneto de silício durante a fabricação de semicondutores. Esses bicos são normalmente feitos de material de carboneto de silício quimicamente estável e de alta temperatura para garantir estabilidade em ambientes de processamento severos. Projetados para deposição uniforme, eles desempenham um papel fundamental no controle da qualidade e uniformidade das camadas epitaxiais cultivadas em aplicações de semicondutores. Estamos ansiosos para estabelecer uma cooperação de longo prazo com você.

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Protetor de revestimento CVD SiC

A Vetek Semiconductor fornece protetor de revestimento CVD SiC usado como epitaxia LPE SiC. O termo "LPE" geralmente se refere a epitaxia de baixa pressão (LPE) em deposição de vapor químico de baixa pressão (LPCVD). Na fabricação de semicondutores, o LPE é uma importante tecnologia de processo para o cultivo de filmes finos de cristal único, frequentemente usado para o crescimento de camadas epitaxiais de silício ou outras camadas epitaxiais de semicondutores.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.