Epitaxia de Silício, EPI, Epitaxia, Epitaxial refere-se ao crescimento de uma camada de cristal com a mesma direção de cristal e diferentes espessuras de cristal em um único substrato de silício cristalino. A tecnologia de crescimento epitaxial é necessária para a fabricação de componentes discretos semicondutores e circuitos integrados, porque as impurezas contidas nos semicondutores incluem o tipo N e o tipo P. Através de uma combinação de diferentes tipos, os dispositivos semicondutores exibem uma variedade de funções.
O método de crescimento de epitaxia de silício pode ser dividido em epitaxia de fase gasosa, epitaxia de fase líquida (LPE), epitaxia de fase sólida, método de crescimento de deposição de vapor químico é amplamente utilizado no mundo para atender à integridade da rede.
O equipamento epitaxial de silício típico é representado pela empresa italiana LPE, que possui tor hipnótico epitaxial panqueca, tor hipnótico tipo barril, hipnótico semicondutor, transportador de wafer e assim por diante. O diagrama esquemático da câmara de reação do hypector epitaxial em forma de barril é o seguinte. A VeTek Semiconductor pode fornecer um hy pector epitaxial de wafer em forma de barril. A qualidade do pelector HY revestido com SiC é muito madura. Qualidade equivalente a SGL; Ao mesmo tempo, a VeTek Semiconductor também pode fornecer bocal de quartzo com cavidade de reação epitaxial de silício, defletor de quartzo, redoma de vidro e outros produtos completos.
Suceptor Epitaxial de Silício Susceptor de wafer tipo barril Receptor semicondutor Susceptor revestido de SiC
Se o receptor epitaxial Apanhador de Panquecas Susceptor revestido de SiC
O defletor de revestimento CVD SiC da Vetek Semiconductor é usado principalmente em Si Epitaxy. Geralmente é usado com barris de extensão de silício. Ele combina a alta temperatura e a estabilidade exclusivas do defletor de revestimento CVD SiC, o que melhora muito a distribuição uniforme do fluxo de ar na fabricação de semicondutores. Acreditamos que nossos produtos podem trazer a você tecnologia avançada e soluções de produtos de alta qualidade.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaA VeTek Semiconductor oferece um conjunto abrangente de soluções de componentes para câmaras de reação epitaxia de silício LPE, proporcionando longa vida útil, qualidade estável e melhor rendimento da camada epitaxial. Nosso produto, como o Susceptor de Barril Revestido de SiC, recebeu feedback de posição dos clientes. Também fornecemos suporte técnico para Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy e muito mais. Sinta-se à vontade para solicitar informações sobre preços.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaVeTek Semiconductor é uma fábrica que combina usinagem de precisão e recursos de revestimento de semicondutores SiC e TaC. O Si Epi Susceptor tipo barril fornece recursos de controle de temperatura e atmosfera, aumentando a eficiência da produção em processos de crescimento epitaxial de semicondutores.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaComo principal fabricante nacional de revestimentos de carboneto de silício e carboneto de tântalo, a VeTek Semiconductor é capaz de fornecer usinagem de precisão e revestimento uniforme de Epi Susceptor revestido com SiC, controlando efetivamente a pureza do revestimento e do produto abaixo de 5 ppm. A vida útil do produto é comparável à do SGL. Bem-vindo para nos perguntar.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaVeTek Semiconductor é um fabricante líder de conjunto de susceptor LPE Si Epi e inovador na China. Somos especializados em revestimento SiC e revestimento TaC por muitos anos. Oferecemos um conjunto LPE Si Epi Susceptor projetado especificamente para wafers LPE PE2061S 4''. O grau de correspondência do material de grafite e do revestimento de SiC é bom, a uniformidade é excelente e a vida útil é longa, o que pode melhorar o rendimento do crescimento da camada epitaxial durante o processo LPE (Epitaxia de Fase Líquida). China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaVeTek Semiconductor é um fabricante, fornecedor e exportador profissional de susceptor de barril de grafite revestido de SiC para EPI. Apoiada por uma equipe profissional e tecnologia de ponta, a VeTek Semiconductor pode fornecer alta qualidade a preços razoáveis. convidamos você a visitar nossa fábrica para uma discussão mais aprofundada.
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