Aquecedor de revestimento TaC

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de aquecedor de revestimento TaC na China. Este produto tem um ponto de fusão extremamente elevado (cerca de 3880°C). O alto ponto de fusão do aquecedor de revestimento TaC permite que ele opere em temperaturas extremamente altas, especialmente no crescimento de camadas epitaxiais de nitreto de gálio (GaN) no processo de deposição de vapor químico orgânico metálico (MOCVD). A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O aquecedor de revestimento TaC é um elemento de aquecimento de alto desempenho amplamente utilizado em processos de fabricação de semicondutores. Sua superfície é revestida com material de carboneto de tântalo (TaC), o que confere ao aquecedor excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão química e excelente condutividade térmica.

As principais aplicações do Aquecedor de Revestimento TaC na fabricação de semicondutores incluem:

Durante o processo de crescimento epitaxial de nitreto de gálio (GaN), o aquecedor de revestimento TaC fornece um ambiente de alta temperatura controlado com precisão para garantir que a camada epitaxial seja depositada no substrato a uma taxa uniforme e de alta qualidade. Sua saída de calor estável ajuda a obter controle preciso de materiais de película fina, melhorando assim o desempenho do dispositivo.

Além disso, no processo de deposição de vapor químico orgânico metálico (MOCVD), combinado com a resistência a altas temperaturas e condutividade térmica do revestimento TaC, o Aquecedor de revestimento TaC é geralmente usado para aquecer o gás de reação e, ao fornecer distribuição uniforme de calor, promove sua reação química na superfície do substrato, melhorando assim a uniformidade da camada epitaxial e formando um filme de alta qualidade.

Como líder do setor em produtos Aquecedores de revestimento TaC, a VeTek Semiconducto sempre oferece suporte a serviços de personalização de produtos e preços de produtos satisfatórios. Não importa quais sejam seus requisitos específicos, encontraremos a melhor solução para suas necessidades de aquecedor de revestimento TaC e aguardamos sua consulta a qualquer momento.

Propriedades físicas básicas do aquecedor de revestimento TaC:

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade	14,3 (g/cm³)
Emissividade específica	0.3
Coeficiente de expansão térmica	6,3 10-6/K
Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
Resistência	1×10-5 Ohm*cm
Estabilidade térmica	<2500℃
Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)