Placa de suporte do pedestal de revestimento TaC

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor na China que produz principalmente susceptores de revestimento CVD TaC, anel de entrada, Wafer Chunck, suporte revestido de TaC, placa de suporte de pedestal de revestimento TaC com muitos anos de experiência. Espero construir relacionamento comercial com você.

A cerâmica TaC tem um ponto de fusão de até 3880°C, alta dureza (dureza Mohs 9 ~ 10), grande condutividade térmica (22W·m-1·K−1), grande resistência à flexão (340 ~ 400MPa) e pequena expansão térmica. coeficiente (6,6×10−6K−1) e apresenta excelente estabilidade termoquímica e excelentes propriedades físicas. Possui boa compatibilidade química e mecânica com materiais compósitos de grafite e C/C, portanto, o revestimento TaC é amplamente utilizado na proteção térmica aeroespacial, crescimento de cristal único e reatores epitaxiais como Aixtron, reator LPE EPI na indústria de semicondutores. A grafite revestida com TaC tem melhor resistência à corrosão química do que a tinta de pedra nua ou a grafite revestida com SiC, pode ser usada de forma estável em altas temperaturas de 2.200 °, não reage com muitos elementos metálicos, é a terceira geração de cenário de crescimento de cristal único semicondutor, epitaxia e gravação de wafer do revestimento de melhor desempenho, pode melhorar significativamente o processo de controle de temperatura e impurezas, preparação de wafers de carboneto de silício de alta qualidade e wafers epitaxiais relacionados. É especialmente adequado para o cultivo de cristal único GaN ou AlN em equipamentos MOCVD e cristal único SiC em equipamentos PVT, e a qualidade do cristal único cultivado é obviamente melhorada.

Revestimento TaC e revestimento SiC Peças sobressalentes que podemos fazer:

Parâmetro do revestimento TaC:

Cadeia Industrial:

Oficina de produção