Susceptor Planetário de Revestimento TaC

O susceptor planetário de revestimento VeTek Semiconductor'TaC é um produto excepcional para equipamentos de epitaxia Aixtron. O robusto revestimento TaC oferece excelente resistência a altas temperaturas e inércia química. Esta combinação única garante desempenho confiável e longa vida útil, mesmo em ambientes exigentes. A VeTek está comprometida em fornecer produtos de alta qualidade e servir como parceira de longo prazo no mercado chinês com preços competitivos.

Enviar consulta

Descrição do produto

No domínio da fabricação de semicondutores, o Susceptor Planetário de Revestimento TaC desempenha um papel crucial. É amplamente utilizado no crescimento de camadas epitaxiais de carboneto de silício (SiC) em equipamentos como o sistema Aixtron G5. Além disso, quando usado como disco externo na deposição de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) para epitaxia de SiC, o Susceptor Planetário de Revestimento TaC fornece suporte e estabilidade essenciais. Garante a deposição uniforme da camada de carboneto de tântalo, contribuindo para a formação de camadas epitaxiais de alta qualidade com excelente morfologia superficial e espessura de filme desejada. A inércia química do revestimento TaC evita reações indesejadas e contaminação, mantendo a integridade das camadas epitaxiais e garantindo sua qualidade superior.

A excepcional condutividade térmica do revestimento TaC permite uma transferência de calor eficiente, promovendo distribuição uniforme de temperatura e minimizando o estresse térmico durante o processo de crescimento epitaxial. Isso resulta na produção de camadas epitaxiais de SiC de alta qualidade com propriedades cristalográficas aprimoradas e condutividade elétrica aprimorada.

As dimensões precisas e a construção robusta do disco planetário com revestimento TaC facilitam a integração em sistemas existentes, garantindo compatibilidade perfeita e operação eficiente. Seu desempenho confiável e revestimento TaC de alta qualidade contribuem para resultados consistentes e uniformes em processos de epitaxia de SiC.

Confie na VeTek Semiconductor e em nosso disco planetário com revestimento TaC para obter desempenho e confiabilidade excepcionais em epitaxia de SiC. Experimente as vantagens de nossas soluções inovadoras, posicionando você na vanguarda dos avanços tecnológicos na indústria de semicondutores.

Peças sobressalentes para revestimento TaC e SiC que fornecemos:

Parâmetro do produto do susceptor planetário de revestimento TaC:

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade	14,3 (g/cm³)
Emissividade específica	0.3
Coeficiente de expansão térmica	6,3 10-6/K
Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
Resistência	1×10-5 Ohm*cm
Estabilidade térmica	<2500℃
Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)