Placa de revestimento TaC

Você pode ter a certeza de comprar placa de revestimento TaC de nossa fábrica. Nossa placa de revestimento TaC funciona como uma parte fundamental do reator semicondutor epitaxy, o que ajuda a excelente rendimento da camada epitaxial e eficiência de crescimento. Melhorar a qualidade do produto.

Para a produção de novos semicondutores com ambientes de preparação cada vez mais severos, como a preparação da folha epitaxial de nitreto do terceiro grupo principal (GaN) por deposição de vapor químico metal-orgânico (MOCVD) e a preparação de filmes de crescimento epitaxial de SiC por vapor químico deposição (CVD) são corroídos por gases como H2 e NH3 em ambientes de alta temperatura. As camadas protetoras de SiC e BN na superfície dos transportadores de crescimento ou canais de gás existentes podem falhar devido ao seu envolvimento em reações químicas, o que afeta negativamente a qualidade de produtos como cristais e semicondutores. Portanto, é necessário encontrar um material com melhor estabilidade química e resistência à corrosão como camada protetora para melhorar a qualidade de cristais, semicondutores e outros produtos. O carboneto de tântalo tem excelentes propriedades físicas e químicas, devido ao papel de fortes ligações químicas, sua estabilidade química em alta temperatura e resistência à corrosão é muito maior que SiC, BN, etc., é uma ótima perspectiva de aplicação de resistência à corrosão, estabilidade térmica excelente revestimento .

VeTek Semiconductor possui equipamentos de produção avançados e sistema de gestão de qualidade perfeito, rigoroso controle de processo para garantir o revestimento TaC em lotes de consistência de desempenho, a empresa possui capacidade de produção em larga escala, para atender às necessidades dos clientes em grandes quantidades de fornecimento, monitoramento de qualidade perfeito mecanismo para garantir a qualidade de cada produto estável e confiável.

Parâmetro do produto da placa de revestimento TaC:

Cadeia Industrial:

Oficina de produção