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Grafite porosa revestida com carboneto de tântalo
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Grafite porosa revestida com carboneto de tântalo

A grafite porosa revestida com carboneto de tântalo é um produto indispensável no processo de processamento de semicondutores, especialmente no processo de crescimento de cristal SIC. Após contínuo investimento em P&D e atualizações tecnológicas, a qualidade do produto TaC Coated Porous Graphite da VeTek Semiconductor ganhou muitos elogios de clientes europeus e americanos. Bem-vindo à sua consulta adicional.

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Descrição do produto

A grafite porosa revestida com carboneto de tântalo semicondutor VeTek tornou-se um cristal de carboneto de silício (SiC) devido à sua resistência a altas temperaturas (ponto de fusão em torno de 3880 ° C), excelente estabilidade térmica, resistência mecânica e inércia química em ambientes de alta temperatura. Um material indispensável no processo de crescimento. Em particular, a sua estrutura porosa proporciona muitas vantagens técnicas para oprocesso de crescimento de cristal


A seguir está uma análise detalhadaGrafite porosa revestida com carboneto de tântalopapel principal:

● Melhore a eficiência do fluxo de gás e controle com precisão os parâmetros do processo

A estrutura microporosa do Grafite Poroso pode promover a distribuição uniforme dos gases de reação (como gás carboneto e nitrogênio), otimizando assim a atmosfera na zona de reação. Essa característica pode efetivamente evitar o acúmulo local de gás ou problemas de turbulência, garantir que os cristais de SiC sejam tensionados uniformemente durante todo o processo de crescimento e que a taxa de defeitos seja bastante reduzida. Ao mesmo tempo, a estrutura porosa também permite o ajuste preciso dos gradientes de pressão do gás, otimizando ainda mais as taxas de crescimento dos cristais e melhorando a consistência do produto.


●  Reduza o acúmulo de estresse térmico e melhore a integridade do cristal

Em operações de alta temperatura, as propriedades elásticas do Carboneto de Tântalo Poroso (TaC) atenuam significativamente as concentrações de tensão térmica causadas por diferenças de temperatura. Esta capacidade é particularmente importante no cultivo de cristais de SiC, reduzindo o risco de formação de fissuras térmicas, melhorando assim a integridade da estrutura cristalina e a estabilidade do processamento.


●  Otimize a distribuição de calor e melhore a eficiência da utilização de energia

O revestimento de carboneto de tântalo não apenas proporciona à grafite porosa maior condutividade térmica, mas suas características porosas também podem distribuir o calor uniformemente, garantindo uma distribuição de temperatura altamente consistente dentro da área de reação. Este gerenciamento térmico uniforme é a condição essencial para a produção de SiC Crystal de alta pureza. Também pode melhorar significativamente a eficiência do aquecimento, reduzir o consumo de energia e tornar o processo de produção mais econômico e eficiente.


●  Melhore a resistência à corrosão e prolongue a vida útil dos componentes

Gases e subprodutos em ambientes de alta temperatura (como fase de vapor de hidrogênio ou carboneto de silício) podem causar corrosão severa aos materiais. O revestimento TaC fornece uma excelente barreira química ao grafite poroso, reduzindo significativamente a taxa de corrosão do componente, prolongando assim sua vida útil. Além disso, o revestimento garante a estabilidade a longo prazo da estrutura porosa, garantindo que as propriedades de transporte de gás não sejam afetadas.


●  Bloqueia eficazmente a difusão de impurezas e garante a pureza do cristal

A matriz de grafite não revestida pode liberar vestígios de impurezas, e o revestimento TaC atua como uma barreira de isolamento para evitar que essas impurezas se difundam no cristal de SiC em um ambiente de alta temperatura. Este efeito de blindagem é fundamental para melhorar a pureza do cristal e ajudar a atender aos rigorosos requisitos da indústria de semicondutores para materiais de SiC de alta qualidade.


A grafite porosa revestida com carboneto de tântalo do semicondutor VeTek melhora significativamente a eficiência do processo e a qualidade do cristal, otimizando o fluxo de gás, reduzindo o estresse térmico, melhorando a uniformidade térmica, aumentando a resistência à corrosão e inibindo a difusão de impurezas durante o processo de crescimento de cristal de SiC. A aplicação deste material não só garante alta precisão e pureza na produção, mas também reduz bastante os custos operacionais, tornando-o um pilar importante na fabricação moderna de semicondutores.

Mais importante ainda, a VeTeksemi está há muito comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de fabricação de semicondutores e oferece suporte a serviços personalizados de produtos de grafite porosa revestida com carboneto de tântalo. Esperamos sinceramente nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.


Propriedades físicas do revestimento de carboneto de tântalo

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade do revestimento TaC
14,3 (g/cm³)
Emissividade específica
0.3
Coeficiente de expansão térmica
6,3*10-6/K
Dureza do revestimento TaC (HK)
2.000 Hong Kong
Resistência do revestimento de carboneto de tântalo
1x10-5Ohm*cm
Estabilidade térmica
<2500℃
Mudanças no tamanho do grafite
-10~-20um
Espessura do revestimento
≥20um valor típico (35um±10um)

Oficinas de produção de grafite porosa revestida com carboneto de tântalo semicondutor VeTek

Graphite substrateSingle crystal growth furnaceGraphite ring assemblySemiconductor process equipment

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