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Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC
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Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC

VeTek Semiconductor é o principal fabricante e fornecedor na China de Carboneto de Tântalo TaC Coated Halfmoon, nos especializamos em P&D e produção, podemos controlar bem a qualidade e oferecer um preço competitivo. Você está convidado a visitar nossa fábrica para uma discussão mais aprofundada sobre uma cooperação de longo prazo.

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Descrição do produto

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional de meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC na China. A VeTek Semiconductor oferece Carboneto de Tântalo TaC Coated Halfmoon, que desempenha um papel de suporte e transporte no processo epitaxial do carboneto de silício, não apenas suporta o substrato, mas também fornece uma base plana, permitindo que a epitaxia cresça uniformemente sobre ele.

A qualidade e o desempenho da peça em meia-lua afetam diretamente a qualidade e o desempenho do wafer durante o processo epitaxial de carboneto de silício. Portanto, projetar e selecionar a peça em meia-lua apropriada é crucial para o sucesso do processo epitaxial de SiC. A meia-lua revestida com carboneto de tântalo TaC fabricada pela VeTek Semiconductor pode aumentar sua resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão e resistência ao desgaste, melhorando muito a estabilidade e a vida útil do componente de meia-lua durante o processo de crescimento.


Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo:

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade 14,3 (g/cm³)
Emissividade específica 0.3
Coeficiente de expansão térmica 6,3 10-6/K
Dureza (HK) 2.000 Hong Kong
Resistência 1×10-5 Ohm*cm
Estabilidade térmica <2500℃
Mudanças no tamanho do grafite -10~-20um
Espessura do revestimento ≥20um valor típico (35um±10um)


Vantagens da nossa meia-lua revestida com carboneto de tântalo TaC:

1. Resistência a altas temperaturas

2. Alta resistência à corrosão

3.Alta dureza e resistência ao desgaste

4.Boa condutividade térmica

5. Boa inércia química


Oficina de produção de semicondutores VeTek


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