Meia Lua Inferior de Grafite Ultra Puro

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional dedicado a fornecer meia lua inferior de grafite ultra pura. Nossos produtos Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon são projetados especificamente para câmaras epitaxiais de SiC e oferecem desempenho superior e compatibilidade com diversos modelos de equipamentos.

Características:

Conexão: VeTek Semiconductor Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon foi projetado para se conectar com tubos de quartzo, facilitando o fluxo de gás para impulsionar a rotação da base transportadora.

Controle de Temperatura: O produto permite o controle de temperatura, garantindo condições ideais dentro da câmara de reação.

Design sem contato: Instalado dentro da câmara de reação, nosso Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon não entra em contato direto com os wafers, garantindo a integridade do processo.

Cenário de aplicação:

Nosso Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon serve como um componente crítico em câmaras epitaxiais de SiC, onde ajuda a manter o teor de impurezas abaixo de 5 ppm. Ao monitorar de perto parâmetros como espessura e uniformidade da concentração de dopagem, garantimos camadas epitaxiais da mais alta qualidade.

Compatibilidade:

O Halfmoon inferior de grafite ultra puro da VeTek Semiconductor é compatível com uma ampla gama de modelos de equipamentos, incluindo LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH e assim por diante.

Convidamos você a visitar nossa fábrica na China para explorar em primeira mão nosso Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon de alta qualidade.

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Oficina de produção de semicondutores VeTek

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: