Anel de foco CVD SiC
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Anel de foco CVD SiC

A VeTek Semiconductor é uma fabricante e fornecedora líder nacional de anéis de foco CVD SiC, dedicada a fornecer soluções de produtos de alto desempenho e alta confiabilidade para a indústria de semicondutores. Os anéis de foco CVD SiC da VeTek Semiconductor usam tecnologia avançada de deposição de vapor químico (CVD), têm excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão e condutividade térmica e são amplamente utilizados em processos de litografia de semicondutores. Suas dúvidas são sempre bem-vindas.

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Descrição do produto

Como base dos modernos dispositivos eletrônicos e da tecnologia da informação, a tecnologia de semicondutores tornou-se uma parte indispensável da sociedade atual. De smartphones a computadores, equipamentos de comunicação, equipamentos médicos e células solares, quase todas as tecnologias modernas dependem da fabricação e aplicação de dispositivos semicondutores.


À medida que os requisitos para integração funcional e desempenho de dispositivos eletrônicos continuam a aumentar, a tecnologia de processo de semicondutores também está em constante evolução e melhoria. Como elo central na tecnologia de semicondutores, o processo de gravação determina diretamente a estrutura e as características do dispositivo.


O processo de gravação é usado para remover ou ajustar com precisão o material na superfície do semicondutor para formar a estrutura e o padrão de circuito desejados. Essas estruturas determinam o desempenho e a funcionalidade dos dispositivos semicondutores. O processo de gravação é capaz de atingir precisão de nível nanométrico, que é a base para a fabricação de circuitos integrados (ICs) de alta densidade e alto desempenho.


O CVD SiC Focus Ring é um componente central na gravação a seco, usado principalmente para focar o plasma para torná-lo mais denso e energético na superfície do wafer. Tem a função de distribuir uniformemente o gás. A VeTek Semiconductor cresce SiC camada por camada através do processo CVD e finalmente obtém o anel de foco CVD SiC. O CVD SiC Focus Ring preparado pode atender perfeitamente aos requisitos do processo de gravação.


CVD SiC Focus Ring working diagram

O anel de foco CVD SiC é excelente em propriedades mecânicas, propriedades químicas, condutividade térmica, resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão iônica, etc.


● A alta densidade reduz o volume de gravação

● Alto intervalo de banda e excelente isolamento

● Alta condutividade térmica, baixo coeficiente de expansão e resistência ao choque térmico

● Alta elasticidade e boa resistência ao impacto mecânico

● Alta dureza, resistência ao desgaste e resistência à corrosão


A VeTek Semiconductor possui os principais recursos de processamento de CVD SiC Focus Ring na China. Enquanto isso, a equipe técnica e a equipe de vendas maduras da VeTek Semiconductor nos ajudam a fornecer aos clientes os produtos de anel de foco mais adequados. Escolher os semicondutores VeTek significa fazer parceria com uma empresa comprometida em ultrapassar os limites doCarboneto de silício CVD inovação.


Com forte ênfase na qualidade, desempenho e satisfação do cliente, fornecemos produtos que não apenas atendem, mas também excedem as rigorosas demandas da indústria de semicondutores. Deixe-nos ajudá-lo a obter maior eficiência, confiabilidade e sucesso em suas operações com nossas soluções avançadas de carboneto de silício CVD.


SEM DADOS DA CVD SIC FILM

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade
Valor típico
Estrutura Cristalina
FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade do revestimento SiC
3,21g/cm³
Dureza do revestimento SiC
Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão
2~10μm
Pureza Química
99,99995%
Capacidade de calor
640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação
2700°C
Resistência Flexural
415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young
Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica
300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)
4,5×10-6K-1

Semicondutor VeTekLojas de produtos CVD SiC Focus Ring:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

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