Pino de levantamento de wafer
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Pino de levantamento de wafer

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de pinos de elevação de wafer EPI na China. Somos especializados em revestimento de SiC na superfície de grafite há muitos anos. Oferecemos um pino de levantamento de wafer EPI para processo Epi. Com alta qualidade e preço competitivo, convidamos você a visitar nossa fábrica na China.

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Descrição do produto

A VeTek Semiconductor fornece revestimento SiC e material de revestimento TaC com preço competitivo e alta qualidade, bem-vindo ao nos consultar.

O pino de elevação do wafer VeTek Semiconductor EPI é um dispositivo chave projetado especificamente para a fabricação de semicondutores. É utilizado para levantar e transportar wafers, garantindo sua segurança e estabilidade durante a fabricação. Fornecemos pino de elevação de wafer revestido de SiC, pino de ponta e anel de pré-aquecimento para processo EPI.


Nossos pinos de elevação wafer EPI oferecem os seguintes recursos e vantagens:

Alta precisão e estabilidade: Nossos pinos de elevação de wafer EPI usam processos e materiais avançados para garantir alta precisão e estabilidade ao levantar e manusear wafers. Ele pode posicionar e fixar wafers com precisão, evitando desvios e danos aos wafers durante a fabricação.

Segurança e confiabilidade: Nossos pinos de elevação wafer EPI são fabricados com materiais de alta resistência para excelente durabilidade e confiabilidade. É capaz de suportar peso e pressão, garantindo que o wafer não seja danificado ou caia acidentalmente durante o manuseio.

Automação e eficiência: Nossos pinos de levantamento de wafer EPI são projetados para operar de forma autônoma e integrar-se perfeitamente com equipamentos de fabricação de semicondutores. Ele pode levantar e mover wafers com rapidez e precisão, aumentando a eficiência da produção e reduzindo a necessidade de operações manuais.

Compatibilidade e aplicabilidade: Nossos pinos de elevação de wafer EPI são adequados para uma ampla variedade de tamanhos e tipos de wafers, incluindo wafers de diferentes diâmetros e materiais. Ele pode ser compatível com uma variedade de equipamentos e processos de fabricação de semicondutores e é adequado para uma variedade de ambientes de produção.

Suporte confiável e de alta qualidade: Estamos comprometidos em fornecer produtos confiáveis ​​e de alta qualidade e fornecer suporte e serviço abrangentes aos nossos clientes. Nossos pinos de elevação wafer passam por rigorosos testes e controle de qualidade para garantir seu desempenho e durabilidade.

Esteja você na fabricação de wafer, pesquisa e desenvolvimento ou produção de semicondutores, nossos pinos de elevação de wafer fornecem uma solução confiável. Entre em contato conosco para saber mais sobre nossos produtos de pinos de elevação wafer e comece a trabalhar juntos para um futuro brilhante!


Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura de cristal FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade 3,21g/cm³
Dureza Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho de grão 2~10μm
Pureza Química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de sublimação 2700°C
Resistência à Flexão 415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade térmica 300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE) 4,5×10-6K-1



Oficina de produção de semicondutores VeTek


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:


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