Destinatário do EPI

O susceptor EPI da VeTek Semiconductor foi projetado para aplicações exigentes de equipamentos epitaxiais. Sua estrutura de grafite revestida com carboneto de silício (SiC) de alta pureza oferece excelente resistência ao calor, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epitaxial e resistência química duradoura. Estamos ansiosos para cooperar com você.

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Descrição do produto

VeTek Semiconductor é um fabricante líder profissional de receptor EPI na China, receptor planetário ALD e receptor de grafite revestido com TaC.

O susceptor EPI da VeTek Semiconductor é um componente importante do crescimento epitaxial no processo de fabricação de semicondutores. Sua principal função é apoiar e aquecer o wafer para que uma camada epitaxial de alta qualidade possa crescer uniformemente na superfície do wafer.

Os susceptores EPI da VeTek Semiconductors são geralmente feitos de grafite de alta pureza e revestidos com uma camada de carboneto de silício (SiC). Este design tem as seguintes vantagens principais:

Estabilidade em altas temperaturas: O susceptor EPI pode permanecer estável em um ambiente de alta temperatura, garantindo o crescimento uniforme da camada epitaxial.

Resistência à corrosão: O revestimento SiC possui excelente resistência à corrosão e pode resistir à erosão de gases químicos, prolongando a vida útil da bandeja.

Condutividade térmica: A alta condutividade térmica do material SiC garante uma distribuição uniforme da temperatura do wafer durante o aquecimento, melhorando assim a qualidade da camada epitaxial.

Correspondência do coeficiente de expansão térmica: O coeficiente de expansão térmica do SiC é semelhante ao do grafite, evitando o problema de desprendimento do revestimento devido à expansão e contração térmica.

Propriedades físicas básicas deDestinatário do EPI: