Aquecedor VEECO MOCVD

O aquecedor VEECO MOCVD da VeTeksemi é feito de material de grafite de alta pureza com teor de impurezas estritamente controlado abaixo de 5 ppm e revestido com carboneto de silício (SiC) de ultra-alta pureza com uma pureza de mais de 99,99995% através de umprocesso de deposição química de vapor (CVD). Esta combinação de materiais confere ao aquecedor uma série de propriedades chave que garantem o seu excelente desempenho nodeposição de vapor químico orgânico metálico (MOCVD)processo.

Uma das características marcantes do aquecedor VEECO MOCVD é a sua extraordinária pureza química. O núcleo de grafite de alta pureza reduz bastante a introdução potencial de contaminantes no processo de alta temperatura, garantindo um processo de deposição de filme ultralimpo. ORevestimento CVD SiCfornece proteção adicional ao aquecedor, formando uma forte barreira para evitar reações químicas que possam prejudicar a qualidade do filme. Essa pureza incomparável é essencial para a fabricação de dispositivos semicondutores confiáveis ​​e de alto desempenho.

Ao mesmo tempo, o aquecedor apresenta estabilidade e eficiência térmica extremamente altas. O SiC tem um alto ponto de fusão e excelente condutividade térmica, permitindo que o aquecedor gerencie e conduza o calor de maneira eficaz. Isso garante um aquecimento uniforme em todo o substrato, o que por sua vez ajuda a obter uma deposição uniforme do filme e a reduzir defeitos causados ​​por gradientes térmicos. Essa eficiência térmica é particularmente importante para a fabricação de precisão.

O aquecedor VEECO MOCVD também se destaca no desempenho elétrico. Seu núcleo de grafite de alta pureza possui excelente condutividade elétrica, permitindo que o aquecedor lide com altas exigências de carga elétrica. Este desempenho elétrico estável permite que o aquecedor mantenha o controle preciso da temperatura e a taxa de deposição sob condições de alta carga, o que é fundamental para garantir condições de processo consistentes e melhorar a eficiência da fabricação de semicondutores.

O design da superfície do aquecedor foi cuidadosamente otimizado para ter uma alta emissividade do substrato, o que melhora significativamente a eficiência da transferência de calor radiativo. A capacidade de aquecer uniformemente é um fator chave para garantir espessura e características consistentes de deposição do filme. O design da superfície de alta emissividade também melhora a eficiência térmica geral do aquecedor, reduzindo assim o consumo de energia e os custos operacionais.

Em termos de durabilidade, o aquecedor VEECO MOCVD da VeTeksemi apresenta excelente resistência à corrosão, resistência à oxidação e resistência mecânica. O revestimento CVD SiC fornece uma barreira sólida aos gases corrosivos e produtos químicos comuns nos processos MOCVD, prolongando assim a vida útil do equipamento e reduzindo as necessidades de manutenção e os custos de substituição. A sua resistência à oxidação garante que o aquecedor permaneça estável a altas temperaturas sem degradação do desempenho, garantindo estabilidade a longo prazo.

Além disso, a alta resistência mecânica do aquecedor MOCVD da VeTeksemi permite-lhe suportar as tensões físicas geradas durante a ciclagem térmica e o manuseio do substrato. Sua robustez reduz o risco de falha mecânica e garante a operação confiável do equipamento sob condições adversas de processo.

Como um fabricante e fornecedor avançado de produtos de aquecimento VEECO MOCVD, a VeTeksemi também fornece uma variedade de produtos de aquecimento de alta qualidade, comoAquecedor de revestimento TaC, aquecedor de grafite com revestimento cerâmico de carboneto de silício, aquecedor de revestimento cerâmico de carboneto de silícioA VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e personalizável e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Esperamos sinceramente ser seu parceiro de longo prazo na China.